Semiconductor manufacturing Trusted measurements for pressure, temperature, humidity, and liquid concentration measurements for increased yield, safety, and best-performing products Contact us > 1982 own cleanroom since DRYCAP® Cutting-edge technology for semiconductor manufacturing Leading semiconductor fabs are our customers Top-notch silicon chips are made using sophisticated machines, processes, and knowledge. And behind successful processes are high-performing monitoring and measurement instrumentation.Each silicon chip deserves to work as intended, and when created, using just the right amount of material, energy, and other resources. Guarantee success with quality measurements Image Click to enlarge From wet to dry and back From semiconductor wafer manufacturing, and microelectronics fabrication to packaging semiconductors, equip your critical processing steps with trusted and reliable measurements for stable quality, high yield, predictability, and cost-efficiency.Our offering covers instruments measuring humidity, dew point, temperature, pressure, and wet chemistries’ concentrations. Each product produces precise data on the manufacturing environment, and provides superior accuracy, long-term stability, and rapid response time for process optimization, increased yield, safety and best-performing chips.For these reasons, Vaisala is the preferred measurement partner for semiconductor manufacturers and MEMS foundries, semiconductor equipment manufacturers and OEMs, fab operators, and material suppliers.From the front-end to back-end and all the way to the customer, we've got you. WHY VAISALA Designed for semiconductor manufacturing Vaisala's comprehensive offering with just the right parameters provides stable measurements in semiconductor manufacturing. Measurement accuracy designed in the product Select products surrounded by an ecosystem of support, with optimized cost of ownership and with minimum lifecycle costs. Avoid risks - select reliable products from wet to dry Vaisala's products cover the whole measurement range, and everything you need from wet to dry, including products for specific applications. Tailored products - Engineer-to-Order Did you know that our products can be customized for an specific application or installation position? Nothing gives us more joy than to solve difficult measurement problems, together with you. Contact us! We are here to help. We walk the walk Vaisala produces sensor chips for Vaisala products, and for R&D use in our own in-house cleanroom. We know what it takes to produce world-class quality. In addition, Vaisala is committed to supporting our products throughout their entire lifecycle, and our expert services and support are located near you, wherever you are. Semiconductor manufacturing applications Environmental measurements in cleanroom, HVAC Humidity control through air conditioning system, HVAC Humidity levels can also impact the semiconductor manufacturing process. Excessive humidity can lead to condensation on sensitive equipment, potentially causing defects in the semiconductor devices. Precision air conditioning systems help to control humidity levels and act as a preventative tool. Get to know the INDIGO300 Wafer cleaning with the help of durable products Wafer cleaning is a critical process in semiconductor manufacturing for removing contaminants, particles, and residues from the surface of silicon wafers. This process ensures the reliability and functionality of integrated circuits (ICs) and other semiconductor devices.Extra durability Cleaning agents can include acids, various solvents, and water, and these residues might be present, thus requiring extra durability from measurement probes.Vaisala offers corrosive resistant probes also without metal wetted parts, specially tailored for the wafer cleaning process, tolerating both high humidity and harsh chemicals.It is important to ensure chip dryness after cleaning to prevent contamination and particle adhesion. Contact us Wafer stepper in photolithography Wafer stepper in photolithography is another critical processing step in the production of integrated circuits (ICs) and other semiconductor devices. In this step, a light pattern is projected onto a silicon wafer coated with photosensitive material (photoresist), thereby etching the desired pattern onto the wafer. As a result, some photolithography areas may have humidity tolerances as tight as ±1%. Temperature control for zero variations in the wafer patternsQuality measurement probes in steppers offer stable temperature measurements and safeguard wafers from having variations in dimensions of the patterns induced by temperature fluctuations. Wrong dimensions on wafer patterns adversely affect the overall quality and performance of the semiconductor devices. Humidity control for optics stabilityThe wafer stepper relies on precise optics to project and transfer patterns onto the wafer. Any variations in temperature or other environmental conditions can affect the stability and accuracy of these optics. Barometric pressure control for accurate lithography, and process stabilityMeasuring barometric pressure is a must for optical precision and accuracy of the lithography process as barometric pressure directly influences the refractive index of air, which in turn affects the optics of the wafer stepper and the wavelength of lithography light. Focus and depth control Prevent defocused images by measuring and controlling barometric pressure with fast and accurate measurement instruments. Maintain chip prober machine ice-free with humidity control The wafer probing machines identify defective wafers by testing chips. Tests are performed in cold temperatures, up to -40 Celsius ( -40 Fahrenheit) to ensure the chip works in extreme temperatures, for example, if later intended to be used in a vehicle.The test environment must be kept dry, with the dew point temperature under -40 so that there is no ice deposition on the chip, which would later, when transferred to room temperature, turn to water and collect impurities on the chip. Vaisala offers accurate dew point probes for the chip prober machines. Get to know the DMT143 Keep ultra-pure gases ultra-pure Protect expensive process gases from being contaminated by humidity. Gas quality significantly affects chip quality, as even trace impurities can lead to defects or failures. Moisture can react with certain materials or introduce defects during processes like oxidation. A rapidly reacting probe will detect any moisture quickly and alert when reaching the set limit. Get to know the DMT152 Secure differential pressure in a cleanroom Easily keep the cleanroom differential pressure at ISO 14644 standards with our sensitive probes. With Vaisala's modular Indigo system, you can connect your differential pressure and humidity measurement probes to the same Indigo transmitter.Get to know our differential pressure probes PDT101 and PDT102. Vaisala PDT101Vaisala PDT102 Optimize and measure wet chemistries' concentration in real-time Semiconductor wafer plants consume tons of chemicals throughout the fab process. Ensure reliability of each chemical and avoid deviations from specification that can result in expensive equipment contamination and wafer scrap. Fab chemical process monitoring Expert content and customer cases Expert article Boost wafer quality and yield through data-driven real-time slurry management The composition of the slurry used in the chemical mechanical polishing (CMP) processing step greatly impacts wafer quality. Vaisala's inline process refractometers enable real-time monitoring of slurry composition, ensuring batch-to-batch consistency and optimal wafer quality. Read more Expert article How to improve humidity measurements in extremely dry environments Case example of high-purity gases in process industrySome of the most challenging industrial processes, such as pure gas production or semiconductor fabrication, require very accurate measurements of trace moisture levels. Learn more Customer case Exceeding the high-precision demands of integrated circuit manufacturing: the role of Vaisala’s instruments in cleanrooms Semiconductor manufacturing The client: China Electronics System Engineering CEFOF and semiconductor manufacturer Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) The challenge: create a cleanroom environment with a monitoring system capable of monitoring really tight temperature and relative humidity tolerancesThe solution: Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 and Vaisala HMT330. All perfect for the challenging process conditions delivering superior measurements Learn more Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more eGuide Understand and utilize real-time data in CMP process Accurate and fast RI and RH measurements for optimized CMP tool performance Did you know that the refractive index or RI measurement with an inline process refractometer is a safe, cost-effective, real-time, low-maintenance process monitoring method to accurately determine wet chemical concentrations? Learn more ブログ 高品質な半導体製品を作るには、優れた監視装置で強化された高品質の装置が必要 これらによって、半導体製造に使用される装置のメーカーは正確に計測を行うことができます。 続きを読む ブログ 水は半導体製造における最も重大な汚染物質の1つ – 水分、湿度、温度の正確な計測 製品の品質と生産量における問題を回避するために、半導体製造では水分と温度のレベルを非常に注意深く監視する必要があります。 続きを読む Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch 関連製品 DMP7 露点温度プローブ 狭小スペースへのリモート設置用 続きを読む DMP8 露点プローブ 高圧のパイプライン（<40bar）への挿入長を調節可能 続きを読む Indigo200シリーズ変換器：ヴァイサラスマートプローブ用 ヴァイサラIndigo200シリーズ 変換器は、ヴァイサラの湿度、温度、露点、オイル内水分、CO 2 、H 2 O 2 用スマートプローブの計測値を表示するホストデバイスです。 続きを読む Indigo80 ハンディタイプ計測器 Indigo製品シリーズ変換器およびプローブに新たに追加されたIndigo80は、コンパクトなハンディタイプ指示計・データロガーです。 続きを読む Indigo500シリーズ 変換器 ヴァイサラIndigo500シリーズ 変換器は、ヴァイサラIndigoシリーズのスタンドアロン型スマートプローブ用のホストデバイスです。Indigo500シリーズには、多機能のIndigo520 変換器と、基本機能を備えたIndigo510 変換器があります。 続きを読む DMT152 露点変換器 -80°Cまでの計測に対応する低露点計測用として設計されているDMT152は、半導体業界をはじめ、純ガス、ドライヤー、グローブボックス、乾燥チャンバー、積層造形などの産業用途や、微量の水分管理が必要とされる用途に最適です。 続きを読む DMT143 小型露点変換器/DMT143L 露点変換器 DMT143およびDMT143L 露点変換器は正確な露点計測を提供し、小型圧縮空気ドライヤー、プラスチックドライヤー、積層造形、その他OEM用途にも最適です。 続きを読む HMP110 湿度温度プローブ 小型のHMP110 湿度温度プローブは、最新型のHUMICAP® 180Rセンサにより優れた安定性と耐薬品性を備えており、計測範囲は0～100%RH、-40～+80℃です。HMP110のハウジングはIP65規格に適合したステンレス製です。 続きを読む PDT102 微差圧トランスミッター PDT102は、主にライフサイエンスやハイテク分野のクリーンルーム向けに設計された高性能機器で、堅牢なMEMSシリコンセンサ技術により、優れた精度、感度、安定性、耐久性を実現しています。 続きを読む ヴァイサラ PR-33-S 半導体製造プロセス向け屈折率計 半導体製造プロセス中の薬液用の超高純度変性 PTFE フローセル本体が付属した小型屈折率計です。1/4 ～ 1 インチのピラーまたはフレア継手でプロセスに接続します。 続きを読む お問い合わせはこちら 特定の用途または製品に関する詳細情報をご希望の場合は、是非お問い合わせください。折り返しご連絡いたします。 お問い合わせ先
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