H2O2 汚染除去の計測、モニタリング、および管理
効果的なプロセス、サイクル開発、検証
過酸化水素はアイソレータ、病室、トランスファーハッチ（パスボックス）などのさまざまな用途における環境に優しい汚染除去方法です。過酸化水素蒸気（過酸化水素）の濃度が汚染除去の過程で計測され、プロセス条件が達成されたことを確認することができます。
- アイソレータ、cRABS
- Transfer Hatches & chambers
- 蒸気発生器
- インキュベータ
- 生産ライン
H2O2 の計測：相対水分飽和度
PEROXCAP® センサ技術には、2 つの HUMICAP® センサが使用されています。1 つは触媒レイヤがある HUMICAP® センサ、もう 1 つは触媒レイヤなしの HUMICAP® センサです。触媒レイヤは、混合蒸気の過酸化水素へ触媒作用を起こします。したがって、触媒レイヤがある HUMICAP® センサは、水蒸気のみを感知し、相対湿度（RH）を計測します。もう 1 つの触媒層なしの HUMICAP® センサは、過酸化水素蒸気と水蒸気の混合蒸気を感知します。この 2 つのセンサの計測値の差異が、過酸化水素の蒸気濃度を示します。HPP272 プローブにはさらに、温度プローブが装備されており、プロセス温度と湿度（相対湿度と相対水分飽和度）のモニタリングができます。また、汚染除去の重要なパラメータである露点と蒸気圧の計測も可能です。HPP271 プローブオプションを使用すると、過酸化水素の体積比 ppm の計測が可能になります。
HPP270シリーズ 過酸化水素・湿度・温度プローブ
ヴァイサラ PEROXCAP® HPP270シリーズプローブは、デジタル出力とアナログ出力の双方を備えています。このプローブは、除染プロセスにおいてH2O2蒸気を使用するメーカー、サービスプロバイダーおよびエンドユーザーを対象に開発されました。本製品では、H2O2 に加え、相対水分飽和度と相対湿度を参照して温度と湿度が計測され、モニタリングと制御の両方に使用することができます。HPP270シリーズプローブを使った効果的な除染方法の詳細については、以下の記事をご覧ください。
プローブはオプションのヴァイサラ Indigo 変換器とともに使用することや、スタンドアローン型プローブとして使用することができます。Indigo 変換器により、容易なユーザーインターフェースが提供され、プロセス要件に応じて設定することができます。Indigo にはプラグアンドプレイプローブ接続、LCD カラーディスプレイ（アナログモデル用のオプションのディスプレイ無しモデル）、および IP65 準拠の筐体が付属しています。プローブの設定、校正、および調整を容易にするために、プローブをヴァイサラの Insight ソフトウェアに接続することができます。
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