Luotettavat paineen, lämpötilan, kosteuden ja nesteiden pitoisuuksien mittaukset parantavat saantoa, turvallisuutta ja tuotteiden laatua
Ota yhteyttä>
oma puhdastila vuodesta
Huipputeknologiaa puolijohteiden valmistukseen
puolijohteiden valmistajat ovat asiakkaitamme
Huippuluokan piisirut valmistetaan kehittyneillä koneilla ja prosesseilla sekä vankalla osaamisella. Onnistuneiden prosessien taustalla ovat suorituskykyiset valvonta- ja mittauslaitteet.
Jokainen piisiru ansaitsee toimia tarkoitetulla tavalla ja tulla valmistetuksi käyttäen juuri oikea määrä materiaalia, energiaa ja muita resursseja.
Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistuksesta puolijohteiden pakkaamiseen – varmista kriittisten prosessointivaiheidesi laatu, korkea saanto, ennustettavuus ja kustannustehokkuus luotettavilla mittauksilla.
Tarjontamme kattaa mittalaitteet kosteuden, kastepisteen, lämpötilan, paineen sekä märkäkemian pitoisuuksien mittaamiseen. Jokainen tuote tuottaa tarkkaa tietoa valmistusympäristöstä ja tarjoaa erinomaisen tarkkuuden, pitkän aikavälin stabiiliuden ja nopean vasteajan prosessin optimointia, parempaa saantoa, turvallisuutta ja sirujen suorituskykyä varten.
Näistä syistä Vaisala on puolijohdevalmistajien, mikrosysteemien (MEMS) valmistajien, puolijohdelaitteiden valmistajien ja alkuperäisten laitevalmistajien (OEM) sekä materiaalitoimittajien suosima mittauskumppani.
Meiltä löydät tarvitsemasi mittalaitteet niin etulinjassa kuin taustalla tapahtuviin toimintoihin aina asiakkaalle saakka.
Kosteustasot voivat vaikuttaa myös puolijohteiden valmistusprosessiin. Liiallisesta kosteudesta voi seurata herkkiin puolijohdelaitteisiin vikoja aiheuttavaa kondensaatiota. Tarkkuusilmastointijärjestelmät auttavat hallitsemaan kosteustasoa ja toimivat ennaltaehkäisevänä työkaluna.
Piikiekkojen puhdistus on puolijohteiden valmistuksen kriittinen prosessi, jossa poistetaan epäpuhtauksia, hiukkasia ja jäämiä piikiekkojen pinnalta. Tämä prosessi varmistaa integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden luotettavuuden ja toimivuuden.
Puhdistusaineet voivat sisältää happoja, erilaisia liuottimia sekä vettä, ja mahdolliset puhdistusainejäämät vaativat mittapäiltä erityistä kestävyyttä.
Vaisala tarjoaa korroosionkestäviä mittapäitä myös ilman metallisia märkäosia. Nämä mittapäät on suunniteltu erityisesti kiekkojen puhdistusprosessia varten, ja ne kestävät sekä korkeaa kosteutta että voimakkaita kemikaaleja.
On tärkeää varmistaa sirujen kuivuus puhdistuksen jälkeen kontaminoitumisen ja hiukkasten tarttumisen estämiseksi.
Optinen litografia on kriittinen käsittelyvaihe integroitujen piirien (IC) ja muiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Tässä vaiheessa heijastetaan valokuvio piikiekolle, joka on päällystetty valoherkällä materiaalilla (fotoresistillä). Näin haluttu kuvio syöpyy kiekkoon. Optinen litografia saattaa edellyttää niinkin tiukkaa kosteustoleranssia kuin ±1 %.
Litografialaitteiden laadukkaat mittapäät tarjoavat stabiilit lämpötilamittaukset ja auttavat ehkäisemään lämpötilan vaihtelua, joka aiheuttaisi vaihtelua kuvioiden mittoihin. Väärät mitat kiekon kuvioissa vaikuttavat haitallisesti puolijohdelaitteiden yleiseen laatuun ja suorituskykyyn.
Litografialaite käyttää tarkkaa optiikkaa kuvioiden projisointiin ja siirtämiseen kiekolle. Kaikki lämpötilan tai muiden ympäristöolosuhteiden vaihtelu voi vaikuttaa tämän optiikan vakauteen ja tarkkuuteen.
Ilmanpaineen mittaaminen on optiikan ja litografiaprosessin tarkkuuden välttämätön edellytys, sillä ilmanpaine vaikuttaa suoraan ilman taitekertoimeen, joka puolestaan vaikuttaa litografialaitteen optiikkaan ja litografian valon aallonpituuteen.
Ehkäise kuvien epätarkkuus mittaamalla ja säätämällä ilmanpainetta nopeiden ja tarkkojen mittalaitteiden avulla.
Kiekkojen testauslaitteet tunnistavat vialliset kiekot testaamalla siruja. Testit suoritetaan kylmissä lämpötiloissa, jopa -40 celsiusasteessa, jotta varmistetaan sirun toimivuus äärimmäisissä lämpötiloissa esimerkiksi siltä varalta, että sitä on myöhemmin tarkoitus käyttää ajoneuvossa.
Testiympäristö on pidettävä kuivana – kastepiste alle -40 astetta – jotta sirulle ei muodostu jäätä, joka myöhemmin huoneenlämpöön siirrettynä muuttuisi vedeksi ja keräisi epäpuhtauksia sirulle.
Vaisala tarjoaa tarkat kastepistemittapäät siruntestauslaitteita varten.
Suojaa kalliita prosessikaasuja kosteuden aiheuttamalta kontaminaatiolta. Kaasun laatu vaikuttaa merkittävästi sirun laatuun, sillä pienetkin epäpuhtaudet voivat aiheuttaa vikoja. Kosteus voi reagoida tiettyjen materiaalien kanssa tai aiheuttaa vikoja prosessien, kuten hapettumisen, aikana.
Nopeasti reagoiva mittapää havaitsee kosteuden nopeasti ja hälyttää, kun asetettu raja saavutetaan.
Pidä puhdastilan paine-ero helposti ISO 14644 ‑standardin mukaisena Vaisalan herkkien mittapäiden avulla. Vaisalan modulaarisen Indigo-järjestelmän ansiosta voit liittää paine-eron ja kosteuden mittapäät samaan Indigo-lähettimeen.
Tutustu paine-eromittapäihimme PDT101 ja PDT102.
Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Varmista jokaisen kemikaalin luotettavuus ja vältä poikkeamat määrityksistä, sillä ne voivat johtaa kalliiseen laitteiston kontaminoitumiseen ja kiekkohävikkiin.
Asiantuntija-artikkeli
Asiakascase
Asiakastarina
Blogi
Blogi
Haluaisitko lisätietoja jostain tietystä sovelluksesta tai tuotteesta? Ota meihin yhteyttä, niin vastaamme sinulle mahdollisimman pian.
