Mesures fiables de la pression, de la température, de l'humidité et de la concentration des liquides pour un meilleur rendement, une plus grande sécurité et des produits plus performants
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Technologie de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs
Les fabricants pionniers de semi-conducteurs sont nos clients
Les puces de silicium de qualité supérieure sont fabriquées à l'aide de machines, de processus et de connaissances sophistiqués. Et derrière les processus réussis se cachent des instruments de surveillance et de mesure performants.
Chaque puce de silicium mérite de fonctionner comme prévu, et lorsqu'elle est créée, en utilisant juste la bonne quantité de matériaux, d'énergie et d'autres ressources.
Qu'il s'agisse de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, de la fabrication de produits microélectroniques ou de l'emballage de semi-conducteurs, équipez vos étapes de traitement critiques de mesures fiables pour une qualité stable, un rendement élevé, une prévisibilité et une rentabilité.
Notre offre comprend des instruments mesurant l'humidité, le point de rosée, la température, la pression et les concentrations de produits chimiques humides. Chaque produit génère des données précises sur l'environnement de fabrication et offre une précision supérieure, une stabilité à long terme et un temps de réponse rapide pour l'optimisation des processus, l'augmentation du rendement, la sécurité et les meilleures performances des puces.
C'est pour ces raisons que Vaisala est le partenaire de mesure privilégié des fabricants de semi-conducteurs et des fonderies de MEMS, des fabricants d'équipements de semi-conducteurs et des OEM, des opérateurs de fabriques et des fournisseurs de matériaux.
Du front-end au back-end et jusqu'au client, nous sommes là pour vous.
Les taux d'humidité peuvent également avoir un impact sur le processus de fabrication des semi-conducteurs. Une humidité excessive peut entraîner de la condensation sur les équipements sensibles, provoquant potentiellement des défauts dans les dispositifs semi-conducteurs. Les systèmes de climatisation de précision aident à contrôler les niveaux d'humidité et agissent comme un outil préventif.
Le nettoyage du wafer est un processus essentiel dans la fabrication des semi-conducteurs pour éliminer les contaminants, les particules et les résidus de la surface des wafers de silicium. Ce processus garantit la fiabilité et la fonctionnalité des circuits intégrés (CI) et autres dispositifs semi-conducteurs.
Les agents de nettoyage peuvent comprendre des acides, divers solvants et de l'eau, et ces résidus peuvent être présents, ce qui exige une durabilité accrue des sondes de mesure.
Vaisala propose des sondes résistantes à la corrosion, également sans pièces métalliques en contact avec le liquide, spécialement conçues pour le processus de nettoyage des plaquettes, tolérant à la fois une humidité élevée et des produits chimiques agressifs.
Il est important de veiller à ce que les copeaux soient secs après le nettoyage afin d'éviter la contamination et l'adhérence de particules.
Le stepper de wafer en photolithographie est un autre élément de traitement critique dans la production de circuits intégrés (CI) et d'autres dispositifs à semi-conducteurs. Au cours de cette étape, un motif lumineux est projeté sur une plaquette de silicium recouverte d'un matériau photosensible (résine photosensible), ce qui permet de graver le motif souhaité sur la plaquette. Par conséquent, certaines zones de photolithographie peuvent avoir des tolérances d'humidité de seulement ±1 %.
Les sondes de mesure de la qualité dans les steppers offrent des mesures de température stables et protègent les wafers contre les variations de dimensions des motifs induites par les fluctuations de température. Des dimensions incorrectes sur les modèles de plaquettes affectent négativement la qualité globale et les performances des dispositifs semi-conducteurs.
Le stepper s'appuie sur une optique précise pour projeter et transférer des motifs sur le wafer. Toute variation de température ou d'autres conditions environnementales peut affecter la stabilité et la précision de ces optiques.
La mesure de la pression barométrique est indispensable à la précision optique et à l'exactitude du processus de lithographie, car la pression barométrique influence directement l'indice de réfraction de l'air, qui à son tour influe sur l'optique du stepper de la plaquette et sur la longueur d'onde de la lumière de lithographie.
Évitez les images défocalisées en mesurant et en contrôlant la pression barométrique à l'aide d'instruments de mesure rapides et précis.
Les machines de sondage de wafers identifient les plaquettes défectueuses en testant les puces. Les tests sont effectués à des températures froides, jusqu'à -40 °C, afin de s'assurer que la puce fonctionne à des températures extrêmes, par exemple si elle est destinée à être utilisée ultérieurement dans un véhicule.
L'environnement d'essai doit rester sec, avec une température du point de rosée inférieure à -40, afin d'éviter tout dépôt de glace sur la puce qui, une fois ramenée à température ambiante, se transformerait en eau et accumulerait des impuretés sur la puce.
Vaisala propose des sondes de point de rosée précises pour les machines de sondage de puces.
Protéger les gaz de process coûteux de la contamination par l'humidité. La qualité du gaz influe considérablement sur la qualité de la puce, car même des impuretés à l'état de traces peuvent entraîner des défauts ou des défaillances. L'humidité peut réagir avec certains matériaux ou introduire des défauts lors de processus tels que l'oxydation.
Une sonde à réaction rapide détecte rapidement toute trace d'humidité et donne l'alerte lorsque la limite fixée est atteinte.
Maintenez facilement la pression différentielle de la salle blanche aux normes ISO 14644 avec nos sondes sensibles. Avec le système modulaire Indigo de Vaisala, vous pouvez connecter vos sondes de mesure de pression différentielle et d'humidité au même transmetteur Indigo.
Découvrez nos sondes de pression différentielle PDT101 et PDT102.
Les usines de plaquettes pour semi-conducteurs consomment des tonnes de produits chimiques, à tous les stades de production. Garantissez la fiabilité de chaque produit chimique et éviter les écarts par rapport aux spécifications qui peuvent entraîner une contamination coûteuse de l'équipement et la mise au rebut des plaquettes.
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