Comprendre et utiliser les données en temps réel dans le processus CMP

Mesures IR et HR exactes et rapides pour optimiser les performances de l'outil CMP  

Saviez-vous que la mesure de l'indice de réfraction ou IR avec un réfractomètre de procédé en ligne est un moyen sûr et économique de surveiller les processus en temps réel et avec peu d'entretien pour déterminer avec exactitude les concentrations de produits chimiques humides ? 

Les réfractomètres de procédé en ligne de Vaisala sont conformes aux normes industrielles et peuvent être intégrés facilement dans les mélangeurs de barbotine et outils CMP. 

Les mesures de l'humidité relative ou HR dans le mélange de barbotine sont essentielles pour éviter l'évaporation de la barbotine et l' agglomération éventuelle. Les produits recommandés sont les Indigo520 avec HMP7 et TMP1 pour les deux températures et des mesures de l'humidité relative effectuées directement dans l'outil CMP. 

Dans ce livre électronique, nous abordons les sujets suivants : 

• le IR dans l'optimisation des processus 
• le HR comme mesure critique 
• Avantages de la position d'installation

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