Tillverkning av halvledare Tillförlitliga mätningar av tryck, temperatur, fuktighet och vätskekoncentration för ökat utbyte, större säkerhet och bästa möjliga egenskaper hos produkterna Kontakta oss > 1982 Eget renrum sedan dess DRYCAP® Banbrytande teknik för tillverkning av halvledarprodukter Ledande halvledarfabriker är våra kunder Kiselchips av högsta kvalitet tillverkas genom att använda sofistikerade maskiner, processer och kunskap. Bakom våra framgångsrika processer finns högpresterande övervaknings- och mätinstrument.Det är viktigt att varje kiselchips fungerar som avsett, och att det tillverkas med precis rätt mängd material, energi och andra resurser. Garanterad framgång med kvalitetsmätningar Image Click to enlarge Från vått till torrt och omvänt Oavsett om det handlar om tillverkning av halvledarwafers och tillverkning av mikroelektronik eller förpackning av halvledare kan du säkerställa dina kritiska processteg med betrodda och tillförlitliga mätningar för stabil kvalitet, högt utbyte, hög förutsägbarhet och kostnadseffektivitet.Vårt erbjudande innefattar instrument som mäter fuktighet, daggpunkt, temperatur, tryck och våtkemiska koncentrationer. Varje produkt producerar exakta data om tillverkningsmiljön och ger överlägsen noggrannhet, långsiktig stabilitet och snabb responstid för processoptimering, ökat utbyte, större säkerhet och bästa presterande chips.Av dessa skäl är Vaisala den föredragna mätpartnern för halvledartillverkare och MEMS-gjuterier, tillverkare av halvledarutrustning och OEM-tillverkare, fabriksoperatörer och materialleverantörer.Från frontend till backend och hela vägen till kunden, så finns vi här för dig. VARFÖR VAISALA Konstruerad för halvledartillverkning Vaisalas omfattande erbjudande med precis rätt parametrar ger stabila mätningar inom halvledartillverkning. Mätnoggrannhet designad i produkten Välj produkter som omges av ett ekosystem av support, med optimerad ägandekostnad och med minimala livscykelkostnader. Undvik risker – välj tillförlitliga produkter från vått till torrt Vaisalas produkter täcker hela mätområdet och allt du behöver från vått till torrt, inklusive produkter för specifika applikationer. Skräddarsydda produkter – engineer-to-order Visste du att våra produkter kan anpassas till en specifik applikation eller installationsplats? Inget ger oss mer glädje än att lösa svåra mätproblem tillsammans med dig. Kontakta oss! Vi finns här för att hjälpa dig. Vi lever som vi lär Vaisala producerar sensorchips för Vaisala-produkter och för FoU-användning i vårt eget interna renrum. Vi vet vad som krävs för att producera kvalitet i världsklass. Dessutom är Vaisala engagerade i att ge support för våra produkter under hela deras livscykel och våra experttjänster och support finns nära dig, var du än befinner dig. Applikationer för tillverkning av halvledare Miljömätningar i renrum, VVS Fuktkontroll genom luftkonditioneringssystem, VVS Fuktighetsnivåer kan också påverka halvledartillverkningsprocessen. Överdriven fuktighet kan leda till kondensbildning på känslig utrustning, vilket potentiellt kan orsaka defekter i halvledarenheterna. Precisionssystem för luftkonditionering hjälper till att kontrollera fuktighetsnivåerna och fungerar som ett förebyggande verktyg. Lär dig mer om INDIGO300 Rengöring av kiselbrickor med hjälp av hållbara produkter Rengöring av kiselbrickor är en kritisk process vid halvledartillverkning för att ta bort föroreningar, partiklar och rester från ytan på kiselbrickor. Denna process säkerställer tillförlitligheten och funktionaliteten hos integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter.Extra hållbarhet Rengöringsmedel kan innehålla syror, olika lösningsmedel och vatten, och rester av dessa kan finnas kvar, vilket kräver extra hållbara mätprober.Vaisala erbjuder korrosionsbeständiga prober även utan metallvåtdelar, särskilt anpassade för processen för rengöring av kiselbrickor, som tål både hög fuktighet och starka kemikalier.Det är viktigt att säkerställa att chipen är torra efter rengöring för att förhindra kontaminering och vidhäftning av partiklar. Kontakta oss Brickstepprar inom fotolitografi Brickstepprar inom fotolitografi är ett annat kritiskt processteg i produktionen av integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter. I detta steg projiceras ett ljusmönster på en kiselbricka belagd med fotokänsligt material (fotoresist), varigenom det önskade mönstret etsas på brickan. Som ett resultat kan vissa fotolitografiområden ha fukttoleranser så snäva som ±1 %. Temperaturkontroll för nollvariationer i brickmönstrenKvalitetsmätprober i stepprar erbjuder stabila temperaturmätningar och skyddar brickorna mot dimensionsvariationer i mönstren som induceras av temperaturvariationer. Fel dimensioner på brickmönstren påverkar den övergripande kvaliteten och prestandan hos halvledarenheterna negativt. Fuktkontroll för optikstabilitetBricksteppern förlitar sig på precis optik för att projicera och överföra mönster till kiselbrickan. Eventuella variationer i temperatur eller andra miljöförhållanden kan påverka stabiliteten och noggrannheten hos denna optik. Barometrisk tryckkontroll för noggrann litografi och processtabilitetAtt mäta det barometriska trycket är ett måste för optisk precision och noggrannhet i litografiprocessen eftersom det barometriska trycket direkt påverkar luftens brytningsindex, vilket i sin tur påverkar brickstepperns optik och litografiljusets våglängd. Fokus och djupkontroll Förhindra oskarpa bilder genom att mäta och kontrollera det barometriska trycket med snabba och exakta mätinstrument. Håll chipprobmaskinen isfri med fuktkontroll Brickprobmaskinerna identifierar defekta kiselbrickor genom att testa chips. Testerna utförs i kalla temperaturer ned till -40 Celsius (-40 Fahrenheit) för att säkerställa att chipet fungerar i extrema temperaturer, till exempel om det senare är tänkt att användas i ett fordon.Testmiljön måste hållas torr med en daggpunktstemperatur under -40 så att det inte förekommer någon isbildning på chipet, som när det senare överförts till rumstemperatur smälter till vatten och ansamlar föroreningar på chipet. Vaisala erbjuder noggranna daggpunktsprober för chipprobmaskinerna. Lär dig mer om DMT143 Håll ultrarena gaser ultrarena Skydda dyra processgaser från att bli förorenade av fukt. Gasens kvalitet påverkar chipkvaliteten avsevärt, eftersom även spår av föroreningar kan leda till defekter eller fel. Fukt kan reagera med vissa material eller införa defekter under processer som oxidation. En snabbt reagerande prob upptäcker eventuell fukt snabbt och varnar när den inställda gränsen nås. Lär dig mer om DMT152 Säkerställ tryckdifferensen i ett renrum Bibehåll enkelt tryckdifferensen i renrummet i enlighet med ISO 14644-standarder med våra känsliga prober. Med Vaisalas moduluppbyggda Indigo-system kan du ansluta dina tryckdifferens- och fuktmätprober till samma Indigo-transmitter.Läs mer om våra tryckdifferensprober PDT101 och PDT102. Vaisala PDT101Vaisala PDT102 Optimera och mät våtkemikoncentrationen i realtid Anläggningar för tillverkning av kiselbrickor förbrukar mängder av kemikalier under tillverkningsprocessen. Säkerställ tillförlitligheten för varje kemikalie och undvik avvikelser från specifikationerna som kan resultera i dyr utrustningskontaminering och kassering av kiselbrickor. Processövervakning av baskemikalier Expertinnehåll och kundfall Expertartikel Höj plattkvalitet och -produktion genom datadriven slurryhantering i realtid Sammansättningen av slurryn som används i bearbetningssteget för kemisk-mekanisk polering (CMP) påverkar i hög grad plattans kvalitet. Vaisalas inline-processrefraktometrar möjliggör realtidsövervakning av slurryns sammansättning, vilket säkerställer enhetlighet mellan olika partier och optimal plattkvalitet. Läs mer Expertartikel Så här förbättrar du fuktighetsmätningar i extremt torra miljöer Fallexempel på högrena gaser inom processindustrin Några av de mest utmanande industriella processerna, såsom ren gasproduktion eller halvledartillverkning, kräver mycket noggranna mätningar av spårfuktighetsnivåer. Läs mer Kundfall Överträffar högprecisionskraven för tillverkning av integrerade kretsar: Rollen för Vaisalas instrument i renrum Kunden: China Electronics System Engineering CEFOF och halvledartillverkaren Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) Utmaningen: Att skapa en renrumsmiljö med ett övervakningssystem som kan övervaka mycket begränsade toleranser för temperatur och relativ luftfuktighetLösningen: Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 och Vaisala HMT330. Samtliga perfekta för de utmanande processförhållandena för leverans av överlägsna mätningar Läs mer Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more eGuide Förstå och utnyttja realtidsdata i CMP-processen Noggranna och snabba RI- och RH-mätningar för optimerad CMP-verktygsprestanda Visste du att brytningsindex eller RI-mätning med en inline-processrefraktometer är en säker och kostnadseffektiv metod för processövervakning i realtid med lågt underhåll för noggrann bestämning av koncentrationer i våta kemikalier? Läs mer Blogg Halvledarprodukter av god kvalitet behöver kvalitetsmaskiner som förbättrats med den bästa övervakningsutrustningen I den här bloggen tittar vi på Vaisalas utbud av fukt- och trycksensorer som säkerställer noggranna mätningar för tillverkare av de maskiner som används för att tillverka halvledare. Läs mer Blogg Vatten är en av de främsta föroreningarna inom halvledartillverkning – mät din fukt, fuktighet och temperatur noggrant För att undvika problem med produktkvalitet och avkastning måste fukt- och temperaturnivåer övervakas extremt noggrant i halvledartillverkning. Läs mer Webbinarium Optimera plattkvaliteten och -produktionen med realtidsdata under CMP-processen Anmäl dig till detta webbseminarium och lär dig mer om varför Vaisalas processrefraktometrar har installerats av hundratals halvledartillverkare över hela världen. Vi kommer att gå igenom tekniken bakom våra mätlösningar och dela med oss av vanliga applikationer, varefter vi presenterar exempel på användningsfall från tillverkare. Registrera dig för att titta Webbinarium Säkerställ avkastning vid tillverkning av halvledare och batterier Delta i detta webbseminarium och få information om olika tekniker för bästa mätnoggrannhet och kvalitet, praktiska lösningar för att bibehålla optimala tillverkningsförhållanden i renrum och torkrum och hur du väljer rätt produkt för din applikation. Registrera dig för att titta Semiconductor manufacturing related products Dew Point Transmitter DMT152 The Vaisala DRYCAP® Dewpoint Transmitter DMT152 is designed for measuring low dew point in OEM applications, even down to -80°C. Läs mer Dew Point and Temperature Probe DMP7 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP7 is made for tight spaces and low-humidity applications. Läs mer Indigo80 handheld measurement device The latest addition to the Indigo family of transmitters and probes, the Indigo80 is a compact, handheld indicator and data logger. Läs mer Indigo300 transmitter Vaisala Indigo300 transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. Läs mer Indigo500 Series Transmitters The Vaisala Indigo500 series transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. The Indigo500 series include multi-functional Indigo520 transmitter and Indigo510 transmitter with basic features. Läs mer Dew Point and Temperature Probe DMP8 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP8 is designed for industrial low-humidity applications with pressure up to 40 bars. Läs mer Miniature Dew Point Transmitters DMT143 & DMT143L (Long) Miniature size dew point transmitters DMT143 and DMT143L are ideal choices when you want to measure dew point accurately in small compressed air dryers, plastic dryers, additive manufacturing and other OEM applications. Läs mer Humidity and Temperature Probe HMP110 The Vaisala HUMICAP® Humidity and Temperature Probe HMP110 is a trouble-free and cost-effective humidity transmitter with high accuracy and good stability. The power consumption is low and it has fast startup for battery-powered applications. Läs mer Differential Pressure Transmitter PDT102 A high performance instrument designed primarily for life science and high technology cleanroom applications, the PDT102 features a robust MEMS silicon sensor technology that provides superior accuracy, sensitivity, stability and durability. Läs mer Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S A compact refractometer with an ultra pure modified PTFE flow cell body for semiconductor liquid chemical processes. Connected to the process by a ¼ — 1 inch pillar or flare fitting. Läs mer Kontakta oss Är du intresserad av att få mer information om en specifik applikation eller produkt? Hör av dig, så återkommer vi! Kontakta oss
Semiconductor manufacturing related products Dew Point Transmitter DMT152 The Vaisala DRYCAP® Dewpoint Transmitter DMT152 is designed for measuring low dew point in OEM applications, even down to -80°C. Läs mer Dew Point and Temperature Probe DMP7 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP7 is made for tight spaces and low-humidity applications. Läs mer Indigo80 handheld measurement device The latest addition to the Indigo family of transmitters and probes, the Indigo80 is a compact, handheld indicator and data logger. Läs mer Indigo300 transmitter Vaisala Indigo300 transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. Läs mer Indigo500 Series Transmitters The Vaisala Indigo500 series transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. The Indigo500 series include multi-functional Indigo520 transmitter and Indigo510 transmitter with basic features. Läs mer Dew Point and Temperature Probe DMP8 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP8 is designed for industrial low-humidity applications with pressure up to 40 bars. Läs mer Miniature Dew Point Transmitters DMT143 & DMT143L (Long) Miniature size dew point transmitters DMT143 and DMT143L are ideal choices when you want to measure dew point accurately in small compressed air dryers, plastic dryers, additive manufacturing and other OEM applications. Läs mer Humidity and Temperature Probe HMP110 The Vaisala HUMICAP® Humidity and Temperature Probe HMP110 is a trouble-free and cost-effective humidity transmitter with high accuracy and good stability. The power consumption is low and it has fast startup for battery-powered applications. Läs mer Differential Pressure Transmitter PDT102 A high performance instrument designed primarily for life science and high technology cleanroom applications, the PDT102 features a robust MEMS silicon sensor technology that provides superior accuracy, sensitivity, stability and durability. Läs mer Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S A compact refractometer with an ultra pure modified PTFE flow cell body for semiconductor liquid chemical processes. Connected to the process by a ¼ — 1 inch pillar or flare fitting. Läs mer
Dew Point Transmitter DMT152 The Vaisala DRYCAP® Dewpoint Transmitter DMT152 is designed for measuring low dew point in OEM applications, even down to -80°C. Läs mer
Dew Point and Temperature Probe DMP7 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP7 is made for tight spaces and low-humidity applications. Läs mer
Indigo80 handheld measurement device The latest addition to the Indigo family of transmitters and probes, the Indigo80 is a compact, handheld indicator and data logger. Läs mer
Indigo300 transmitter Vaisala Indigo300 transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. Läs mer
Indigo500 Series Transmitters The Vaisala Indigo500 series transmitters are host devices for Vaisala Indigo-compatible, stand-alone smart probes. The Indigo500 series include multi-functional Indigo520 transmitter and Indigo510 transmitter with basic features. Läs mer
Dew Point and Temperature Probe DMP8 Vaisala DRYCAP® Dew Point and Temperature Probe DMP8 is designed for industrial low-humidity applications with pressure up to 40 bars. Läs mer
Miniature Dew Point Transmitters DMT143 & DMT143L (Long) Miniature size dew point transmitters DMT143 and DMT143L are ideal choices when you want to measure dew point accurately in small compressed air dryers, plastic dryers, additive manufacturing and other OEM applications. Läs mer
Humidity and Temperature Probe HMP110 The Vaisala HUMICAP® Humidity and Temperature Probe HMP110 is a trouble-free and cost-effective humidity transmitter with high accuracy and good stability. The power consumption is low and it has fast startup for battery-powered applications. Läs mer
Differential Pressure Transmitter PDT102 A high performance instrument designed primarily for life science and high technology cleanroom applications, the PDT102 features a robust MEMS silicon sensor technology that provides superior accuracy, sensitivity, stability and durability. Läs mer
Vaisala K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S A compact refractometer with an ultra pure modified PTFE flow cell body for semiconductor liquid chemical processes. Connected to the process by a ¼ — 1 inch pillar or flare fitting. Läs mer
