Tillförlitliga mätningar av tryck, temperatur, fuktighet och vätskekoncentration för ökat utbyte, större säkerhet och bästa möjliga egenskaper hos produkterna
Kontakta oss>
Eget renrum sedan dess
Banbrytande teknik för tillverkning av halvledarprodukter
halvledarfabriker är våra kunder
Kiselchips av högsta kvalitet tillverkas genom att använda sofistikerade maskiner, processer och kunskap. Bakom våra framgångsrika processer finns högpresterande övervaknings- och mätinstrument.
Det är viktigt att varje kiselchips fungerar som avsett, och att det tillverkas med precis rätt mängd material, energi och andra resurser.
Oavsett om det handlar om tillverkning av halvledarwafers och tillverkning av mikroelektronik eller förpackning av halvledare kan du säkerställa dina kritiska processteg med betrodda och tillförlitliga mätningar för stabil kvalitet, högt utbyte, hög förutsägbarhet och kostnadseffektivitet.
Vårt erbjudande innefattar instrument som mäter fuktighet, daggpunkt, temperatur, tryck och våtkemiska koncentrationer. Varje produkt producerar exakta data om tillverkningsmiljön och ger överlägsen noggrannhet, långsiktig stabilitet och snabb responstid för processoptimering, ökat utbyte, större säkerhet och bästa presterande chips.
Av dessa skäl är Vaisala den föredragna mätpartnern för halvledartillverkare och MEMS-gjuterier, tillverkare av halvledarutrustning och OEM-tillverkare, fabriksoperatörer och materialleverantörer.
Från frontend till backend och hela vägen till kunden, så finns vi här för dig.
Fuktighetsnivåer kan också påverka halvledartillverkningsprocessen. Överdriven fuktighet kan leda till kondensbildning på känslig utrustning, vilket potentiellt kan orsaka defekter i halvledarenheterna. Precisionssystem för luftkonditionering hjälper till att kontrollera fuktighetsnivåerna och fungerar som ett förebyggande verktyg.
Rengöring av kiselbrickor är en kritisk process vid halvledartillverkning för att ta bort föroreningar, partiklar och rester från ytan på kiselbrickor. Denna process säkerställer tillförlitligheten och funktionaliteten hos integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter.
Rengöringsmedel kan innehålla syror, olika lösningsmedel och vatten, och rester av dessa kan finnas kvar, vilket kräver extra hållbara mätprober.
Vaisala erbjuder korrosionsbeständiga prober även utan metallvåtdelar, särskilt anpassade för processen för rengöring av kiselbrickor, som tål både hög fuktighet och starka kemikalier.
Det är viktigt att säkerställa att chipen är torra efter rengöring för att förhindra kontaminering och vidhäftning av partiklar.
Brickstepprar inom fotolitografi är ett annat kritiskt processteg i produktionen av integrerade kretsar (IC) och andra halvledarenheter. I detta steg projiceras ett ljusmönster på en kiselbricka belagd med fotokänsligt material (fotoresist), varigenom det önskade mönstret etsas på brickan. Som ett resultat kan vissa fotolitografiområden ha fukttoleranser så snäva som ±1 %.
Kvalitetsmätprober i stepprar erbjuder stabila temperaturmätningar och skyddar brickorna mot dimensionsvariationer i mönstren som induceras av temperaturvariationer. Fel dimensioner på brickmönstren påverkar den övergripande kvaliteten och prestandan hos halvledarenheterna negativt.
Bricksteppern förlitar sig på precis optik för att projicera och överföra mönster till kiselbrickan. Eventuella variationer i temperatur eller andra miljöförhållanden kan påverka stabiliteten och noggrannheten hos denna optik.
Att mäta det barometriska trycket är ett måste för optisk precision och noggrannhet i litografiprocessen eftersom det barometriska trycket direkt påverkar luftens brytningsindex, vilket i sin tur påverkar brickstepperns optik och litografiljusets våglängd.
Förhindra oskarpa bilder genom att mäta och kontrollera det barometriska trycket med snabba och exakta mätinstrument.
Brickprobmaskinerna identifierar defekta kiselbrickor genom att testa chips. Testerna utförs i kalla temperaturer ned till -40 Celsius (-40 Fahrenheit) för att säkerställa att chipet fungerar i extrema temperaturer, till exempel om det senare är tänkt att användas i ett fordon.
Testmiljön måste hållas torr med en daggpunktstemperatur under -40 så att det inte förekommer någon isbildning på chipet, som när det senare överförts till rumstemperatur smälter till vatten och ansamlar föroreningar på chipet.
Vaisala erbjuder noggranna daggpunktsprober för chipprobmaskinerna.
Skydda dyra processgaser från att bli förorenade av fukt. Gasens kvalitet påverkar chipkvaliteten avsevärt, eftersom även spår av föroreningar kan leda till defekter eller fel. Fukt kan reagera med vissa material eller införa defekter under processer som oxidation.
En snabbt reagerande prob upptäcker eventuell fukt snabbt och varnar när den inställda gränsen nås.
Bibehåll enkelt tryckdifferensen i renrummet i enlighet med ISO 14644-standarder med våra känsliga prober. Med Vaisalas moduluppbyggda Indigo-system kan du ansluta dina tryckdifferens- och fuktmätprober till samma Indigo-transmitter.
Läs mer om våra tryckdifferensprober PDT101 och PDT102.
Anläggningar för tillverkning av kiselbrickor förbrukar mängder av kemikalier under tillverkningsprocessen. Säkerställ tillförlitligheten för varje kemikalie och undvik avvikelser från specifikationerna som kan resultera i dyr utrustningskontaminering och kassering av kiselbrickor.
Kundfall
Customer case
Blogg
Blogg
Är du intresserad av att få mer information om en specifik applikation eller produkt? Hör av dig, så återkommer vi!
