Produzione di semiconduttori Misurazioni affidabili per pressione, temperatura, umidità e concentrazione di liquidi per una maggiore resa, sicurezza e prodotti dalle migliori prestazioni Contatti > 1982 Propria camera bianca da DRYCAP® Tecnologia all'avanguardia per la produzione di semiconduttori Le migliori fabbriche di semiconduttori sono nostre clienti I chip in silicio di alta qualità vengono realizzati utilizzando macchinari, processi e conoscenze sofisticati. Dietro processi efficienti vi sono strumenti di monitoraggio e misurazione altamente performanti.Ogni chip di silicio deve funzionare come previsto e, al momento della sua creazione, è necessario utilizzare la giusta quantità di materiale, energia e altre risorse. Garantire il successo con misurazioni di qualità Image Click to enlarge Da bagnato ad asciutto e ritorno Dalla produzione di wafer di semiconduttori alla fabbricazione di componenti microelettronici fino al confezionamento di semiconduttori, dota le tue fasi di lavorazione critiche di misurazioni affidabili e sicure per una qualità stabile, un'elevata resa, prevedibilità ed efficienza dei costi.La nostra offerta comprende strumenti per la misurazione di umidità, punto di rugiada, temperatura, pressione e concentrazioni di sostanze chimiche umide. Ogni prodotto produce dati precisi sull'ambiente di produzione e garantisce una precisione superiore, stabilità a lungo termine e tempi di risposta rapidi per l'ottimizzazione dei processi, una maggiore resa, sicurezza e chip dalle prestazioni più elevate.Per questi motivi, Vaisala è il partner di misurazione preferito dai produttori di semiconduttori e dalle fonderie MEMS, dai produttori di apparecchiature per semiconduttori e OEM, dagli operatori di fabbrica e dai fornitori di materiali.Dal front-end al back-end, fino al cliente: ci pensiamo noi. PERCHÉ VAISALA Progettato per la produzione di semiconduttori L'offerta completa di Vaisala, dotata dei parametri giusti, garantisce misurazioni stabili nella produzione di semiconduttori. Precisione di misurazione progettata nel prodotto Seleziona prodotti circondati da un ecosistema di supporto, con costi di proprietà ottimizzati e costi del ciclo di vita minimi. Evita i rischi: seleziona prodotti affidabili per applicazioni dal bagnato all'asciutto I prodotti Vaisala coprono l'intera gamma di misurazione e tutto ciò di cui hai bisogno, dal bagnato all'asciutto, compresi i prodotti per applicazioni specifiche. Prodotti su misura - Engineer to Order Sapevi che i nostri prodotti possono essere personalizzati per un'applicazione o una posizione di installazione specifica? Niente ci dà più gioia che risolvere insieme difficili problemi di misurazione. Contattaci. Siamo qui per aiutarti. Noi camminiamo secondo le nostre regole Vaisala produce chip per sensori per i prodotti Vaisala e per l'uso in ambito di ricerca e sviluppo nella nostra camera bianca interna. Sappiamo cosa serve per produrre una qualità di livello mondiale. Inoltre, Vaisala si impegna a supportare i propri prodotti durante l'intero ciclo di vita; i nostri servizi e il nostro supporto specialistico sono disponibili vicino a te, ovunque tu sia. Applicazioni nella produzione di semiconduttori Misurazioni ambientali in camera bianca, impianto di riscaldamento, ventilazione e condizionamento dell'aria Controllo dell'umidità tramite sistema di aria condizionata, impianto di riscaldamento, ventilazione e condizionamento dell'aria Anche i livelli di umidità possono influire sul processo di produzione dei semiconduttori. Un'umidità eccessiva può causare condensa su apparecchiature sensibili, causando potenzialmente difetti nei dispositivi semiconduttori. I sistemi di condizionamento di precisione aiutano a controllare i livelli di umidità e fungono da strumento preventivo. Informazioni su INDIGO300 Pulizia del wafer con l'ausilio di prodotti durevoli La pulizia del wafer è un processo fondamentale nella produzione di semiconduttori, volto a rimuovere contaminanti, particelle e residui dalla superficie dei wafer di silicio. Questo processo garantisce l'affidabilità e la funzionalità dei circuiti integrati (CI) e di altri dispositivi semiconduttori.Durata extra I detergenti possono contenere acidi, vari solventi e acqua; potrebbero essere presenti residui che richiedono una maggiore resistenza delle sonde di misurazione.Vaisala offre sonde resistenti alla corrosione anche senza parti metalliche a contatto con il fluido, appositamente studiate per il processo di pulizia dei wafer, in grado di tollerare sia un'elevata umidità sia sostanze chimiche aggressive.Dopo la pulizia è importante assicurarsi che i trucioli siano asciutti per evitare contaminazioni e l'adesione delle particelle. Contatti Fotoripetitore dei wafer in fotolitografia La lavorazione dei wafer nella fotolitografia è un'altra fase di lavorazione fondamentale nella produzione di circuiti integrati (CI) e altri dispositivi semiconduttori. In questa fase, un modello luminoso viene proiettato su un wafer di silicio rivestito con materiale fotosensibile (fotoresistente), incidendo così sul wafer il modello desiderato. Di conseguenza, alcune aree di fotolitografia possono avere tolleranze di umidità pari a ±1%. Controllo della temperatura per zero variazioni nei modelli di waferLe sonde di misurazione della qualità nei fotoripetitori garantiscono misurazioni stabili della temperatura e proteggono i wafer dalle variazioni nelle dimensioni dei modelli indotte dalle fluttuazioni di temperatura. Dimensioni errate sui modelli di wafer influiscono negativamente sulla qualità complessiva e sulle prestazioni dei dispositivi semiconduttori. Controllo dell'umidità per la stabilità dell'otticaIl fotoripetitore dei wafer si affida a ottiche precise per proiettare e trasferire i modelli sul wafer. Eventuali variazioni di temperatura o di altre condizioni ambientali possono influire sulla stabilità e sulla precisione di queste ottiche. Controllo della pressione barometrica per una litografia accurata e stabilità del processoLa misurazione della pressione barometrica è essenziale per la precisione ottica e l'accuratezza del processo litografico, poiché la pressione barometrica influenza direttamente l'indice di rifrazione dell'aria, che a sua volta influenza l'ottica del fotoripetitore dei wafer e la lunghezza d'onda della luce litografica. Controllo della messa a fuoco e della profondità Evita immagini sfocate misurando e controllando la pressione barometrica con strumenti di misurazione rapidi e precisi. Mantenere la macchina di misura dei chip libera dal ghiaccio con il controllo dell'umidità Le macchine di misura dei wafer identificano i wafer difettosi testando i chip. I test vengono eseguiti a basse temperature, fino a -40 gradi Celsius (-40 gradi Fahrenheit), per garantire che il chip funzioni a temperature estreme, ad esempio se in seguito dovesse essere utilizzato in un veicolo.L'ambiente di prova deve essere mantenuto asciutto, con una temperatura del punto di rugiada inferiore a -40, in modo che non si formi ghiaccio sul chip, che in seguito, una volta portato a temperatura ambiente, si trasformerebbe in acqua e accumulerebbe impurità sul chip. Vaisala offre sonde precise per il punto di rugiada per le macchine di misura dei chip. Informazioni su DMT143 Mantieni ultra puri i gas ultra puri Proteggere i costosi gas di processo dalla contaminazione causata dall'umidità. La qualità del gas influisce notevolmente sulla qualità del chip, poiché anche tracce di impurità possono causare difetti o guasti. L'umidità può reagire con determinati materiali o provocare difetti durante processi come l'ossidazione. Una sonda a reazione rapida rileverà rapidamente l'umidità e avviserà quando verrà raggiunto il limite impostato. Informazioni su DMT152 Pressione differenziale sicura in una camera bianca Grazie alle nostre sonde sensibili, puoi mantenere facilmente la pressione differenziale della camera bianca secondo gli standard ISO 14644. Con il sistema modulare Indigo di Vaisala, puoi collegare le sonde di misurazione della pressione differenziale e dell'umidità allo stesso trasmettitore Indigo.Scopri le nostre sonde di pressione differenziale PDT101 e PDT102. Vaisala PDT101Vaisala PDT102 Ottimizza e misura la concentrazione delle sostanze chimiche umide in tempo reale Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. Garantisci l'affidabilità di ogni prodotto chimico ed evita deviazioni dalle specifiche che possono causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti di wafer. Monitoraggio dei processi chimici degli impianti di produzione Contenuti di esperti e casi dei clienti Articolo esperto Aumenta la qualità e la resa dei wafer attraverso la gestione dei liquami in tempo reale basata sui dati La composizione dei liquami utilizzati nella lucidatura elettro-meccanica (CMP) influisce notevolmente sulla qualità dei wafer. Con i rifrattometri da processo in linea di Vaisala è possibile monitorare in tempo reale la composizione dei liquami per garantire omogeneità tra i lotti e qualità ottimale dei wafer. Scopri di più Articolo per esperti Come migliorare le misurazioni dell'umidità in ambienti estremamente secchi Esempio di gas a elevata purezza nella produzione di processo Alcuni dei processi industriali più complessi, ad esempio la produzione di gas puri o di semiconduttori, richiedono misurazioni particolarmente accurate dei livelli di umidità in tracce. Learn more Caso clienti Oltre gli standard di alta precisione richiesti nella produzione di circuiti integrati: il ruolo degli strumenti Vaisala nelle camere bianche Il cliente: China Electronics System Engineering CEFOF e il produttore di semiconduttori Beijing Memory Technologies, Inc. (BJMT) Il progetto: creare un ambiente di camera bianca con un sistema di monitoraggio in grado di monitorare le tolleranze rigide di temperatura e umidità relativaLa soluzione: Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120 e Vaisala HMT330. Perfetti per le condizioni di processo più impegnative perché in grado di fornire misurazioni superiori Scopri di più Caso clienti Perché Vaisala è il fornitore preferito di molti impianti di fabbricazione di semiconduttori per la qualificazione della concentrazione di H2O2 nel CMP del tungsteno La misurazione dell'IR è una tecnica semplice, economica e precisa che fornisce informazioni in tempo reale sulla composizione del liquame, rendendo un rifrattometro lo strumento metrologico preferito da molti impianti di fabbricazione. Scopri di più eGuide Come comprendere e utilizzare i dati in tempo reale nel processo CMP Misurazioni precise e rapide dell'indice di rifrazione e dell'umidità relativa per prestazioni ottimizzate dello strumento CMP Sapevi che la misurazione dell'indice di rifrazione o RI con un rifrattometro da processo in linea è un metodo di monitoraggio del processo sicuro, conveniente, in tempo reale e a bassa manutenzione per determinare con precisione le concentrazioni di sostanze chimiche umide? Scopri di più Blog I semiconduttori necessitano di macchinari di qualità e delle migliori apparecchiature di monitoraggio In questo blog esaminiamo la gamma di sensori di umidità e pressione di Vaisala che assicurano misurazioni accurate per i produttori delle macchine utilizzate per la produzione di semiconduttori. Scopri di più Blog L'acqua è uno dei contaminanti più significativi nella produzione di semiconduttori: come misurare accuratamente l'umidità e la temperatura Per evitare problemi di qualità e resa del prodotto, i livelli di umidità e temperatura devono essere monitorati con estrema attenzione nella produzione di semiconduttori. Scopri di più Webinar Ottimizza la qualità e la resa dei wafer con dati in tempo reale durante il processo CMP Iscriviti a questo webinar e scopri perché i rifrattometri da processo Vaisala sono stati installati da centinaia di produttori di semiconduttori in tutto il mondo. Oltre a esaminare la tecnologia alla base delle nostre soluzioni di misurazione, spiegheremo quali sono le applicazioni più comuni e condivideremo alcuni casi d'uso di esempio delle aziende produttrici. Registrati per guardare Webinar Garantisci il tuo rendimento nella produzione di semiconduttori e batterie Partecipa a questo webinar on-demand e scopri le diverse tecniche per ottenere la migliore precisione e qualità di misurazione, soluzioni pratiche per mantenere condizioni di produzione ottimali in camera bianca e in camera asciutta e come scegliere il prodotto giusto per la tua applicazione. Registrati per guardare Prodotti correlati Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP7 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP7 è progettata per spazi ridotti e applicazioni a bassa umidità. Scopri di più Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP8 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP8 è progettata per applicazioni industriali a bassa umidità con pressione fino a 40 bar. Scopri di più Trasmettitori serie Indigo200 per le sonde intelligenti di Vaisala I trasmettitori della serie Vaisala Indigo200 sono dispositivi host per la visualizzazione dei valori di misurazione delle sonde intelligenti di rilevamento di umidità, temperatura, punto di rugiada, umidità in olio CO 2 e H 2 O 2 . Scopri di più Misuratore portatile Indigo80 Indigo80, l'ultima aggiunta alla famiglia di trasmettitori e sonde Indigo, è un indicatore portatile compatto e data logger. Scopri di più Trasmettitori serie Indigo500 I trasmettitori della serie Indigo500 di Vaisala sono dispositivi host per sonde intelligenti e autonome compatibili con Indigo di Vaisala. La serie Indigo500 include il trasmettitore multifunzionale Indigo520 e il trasmettitore Indigo510 con funzionalità di base. Scopri di più Trasmettitore del punto di rugiada DMT152 Il trasmettitore del punto di rugiada DRYCAP® DMT152 di Vaisala è progettato per misurare il punto di rugiada basso nelle applicazioni OEM, anche fino a -80 °C. Scopri di più Trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L (lungo) I trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L sono la scelta ideale quando si desidera misurare con precisione il punto di rugiada in piccoli essiccatori per aria compressa, essiccatori in plastica, produzione additiva e altre applicazioni OEM. Scopri di più Sonda per la misura di umidità e temperatura HMP110 La sonda per la misura di umidità e temperatura HUMICAP® HMP110 di Vaisala è un trasmettitore di umidità senza problemi ed economico con elevata precisione e buona stabilità. Il consumo di energia è basso e vanta un avvio rapido per applicazioni alimentate a batteria. Scopri di più Trasmettitore di pressione differenziale PDT102 Strumento ad alte prestazioni progettato principalmente per il settore life science e per applicazioni in camere bianche altamente tecnologiche, il PDT102 è dotato di un sensore al silicio basato sull'affidabile tecnologia MEMS, che garantisce elevata precisione, sensibilità, stabilità e durata. Scopri di più Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato per processi chimici liquidi per semiconduttori. Scopri di più Contatti Ti interessa ricevere maggiori informazioni su un'applicazione o un prodotto specifico? Scrivici e ti ricontatteremo! CONTATTI
Prodotti correlati Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP7 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP7 è progettata per spazi ridotti e applicazioni a bassa umidità. Scopri di più Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP8 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP8 è progettata per applicazioni industriali a bassa umidità con pressione fino a 40 bar. Scopri di più Trasmettitori serie Indigo200 per le sonde intelligenti di Vaisala I trasmettitori della serie Vaisala Indigo200 sono dispositivi host per la visualizzazione dei valori di misurazione delle sonde intelligenti di rilevamento di umidità, temperatura, punto di rugiada, umidità in olio CO 2 e H 2 O 2 . Scopri di più Misuratore portatile Indigo80 Indigo80, l'ultima aggiunta alla famiglia di trasmettitori e sonde Indigo, è un indicatore portatile compatto e data logger. Scopri di più Trasmettitori serie Indigo500 I trasmettitori della serie Indigo500 di Vaisala sono dispositivi host per sonde intelligenti e autonome compatibili con Indigo di Vaisala. La serie Indigo500 include il trasmettitore multifunzionale Indigo520 e il trasmettitore Indigo510 con funzionalità di base. Scopri di più Trasmettitore del punto di rugiada DMT152 Il trasmettitore del punto di rugiada DRYCAP® DMT152 di Vaisala è progettato per misurare il punto di rugiada basso nelle applicazioni OEM, anche fino a -80 °C. Scopri di più Trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L (lungo) I trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L sono la scelta ideale quando si desidera misurare con precisione il punto di rugiada in piccoli essiccatori per aria compressa, essiccatori in plastica, produzione additiva e altre applicazioni OEM. Scopri di più Sonda per la misura di umidità e temperatura HMP110 La sonda per la misura di umidità e temperatura HUMICAP® HMP110 di Vaisala è un trasmettitore di umidità senza problemi ed economico con elevata precisione e buona stabilità. Il consumo di energia è basso e vanta un avvio rapido per applicazioni alimentate a batteria. Scopri di più Trasmettitore di pressione differenziale PDT102 Strumento ad alte prestazioni progettato principalmente per il settore life science e per applicazioni in camere bianche altamente tecnologiche, il PDT102 è dotato di un sensore al silicio basato sull'affidabile tecnologia MEMS, che garantisce elevata precisione, sensibilità, stabilità e durata. Scopri di più Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato per processi chimici liquidi per semiconduttori. Scopri di più
Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP7 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP7 è progettata per spazi ridotti e applicazioni a bassa umidità. Scopri di più
Sonda di punto di rugiada e temperatura DMP8 La sonda di punto di rugiada e temperatura Vaisala DRYCAP® DMP8 è progettata per applicazioni industriali a bassa umidità con pressione fino a 40 bar. Scopri di più
Trasmettitori serie Indigo200 per le sonde intelligenti di Vaisala I trasmettitori della serie Vaisala Indigo200 sono dispositivi host per la visualizzazione dei valori di misurazione delle sonde intelligenti di rilevamento di umidità, temperatura, punto di rugiada, umidità in olio CO 2 e H 2 O 2 . Scopri di più
Misuratore portatile Indigo80 Indigo80, l'ultima aggiunta alla famiglia di trasmettitori e sonde Indigo, è un indicatore portatile compatto e data logger. Scopri di più
Trasmettitori serie Indigo500 I trasmettitori della serie Indigo500 di Vaisala sono dispositivi host per sonde intelligenti e autonome compatibili con Indigo di Vaisala. La serie Indigo500 include il trasmettitore multifunzionale Indigo520 e il trasmettitore Indigo510 con funzionalità di base. Scopri di più
Trasmettitore del punto di rugiada DMT152 Il trasmettitore del punto di rugiada DRYCAP® DMT152 di Vaisala è progettato per misurare il punto di rugiada basso nelle applicazioni OEM, anche fino a -80 °C. Scopri di più
Trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L (lungo) I trasmettitori del punto di rugiada in miniatura DMT143 e DMT143L sono la scelta ideale quando si desidera misurare con precisione il punto di rugiada in piccoli essiccatori per aria compressa, essiccatori in plastica, produzione additiva e altre applicazioni OEM. Scopri di più
Sonda per la misura di umidità e temperatura HMP110 La sonda per la misura di umidità e temperatura HUMICAP® HMP110 di Vaisala è un trasmettitore di umidità senza problemi ed economico con elevata precisione e buona stabilità. Il consumo di energia è basso e vanta un avvio rapido per applicazioni alimentate a batteria. Scopri di più
Trasmettitore di pressione differenziale PDT102 Strumento ad alte prestazioni progettato principalmente per il settore life science e per applicazioni in camere bianche altamente tecnologiche, il PDT102 è dotato di un sensore al silicio basato sull'affidabile tecnologia MEMS, che garantisce elevata precisione, sensibilità, stabilità e durata. Scopri di più
Rifrattometro per semiconduttori Vaisala K-PATENTS® PR-33-S Un rifrattometro compatto con un corpo con celle di flusso in PTFE ultra puro modificato per processi chimici liquidi per semiconduttori. Scopri di più
