Misurazioni affidabili per pressione, temperatura, umidità e concentrazione di liquidi per una maggiore resa, sicurezza e prodotti dalle migliori prestazioni
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migliori fabbriche di semiconduttori sono nostre clienti
I chip in silicio di alta qualità vengono realizzati utilizzando macchinari, processi e conoscenze sofisticati. Dietro processi efficienti vi sono strumenti di monitoraggio e misurazione altamente performanti.
Ogni chip di silicio deve funzionare come previsto e, al momento della sua creazione, è necessario utilizzare la giusta quantità di materiale, energia e altre risorse.
Dalla produzione di wafer di semiconduttori alla fabbricazione di componenti microelettronici fino al confezionamento di semiconduttori, dota le tue fasi di lavorazione critiche di misurazioni affidabili e sicure per una qualità stabile, un'elevata resa, prevedibilità ed efficienza dei costi.
La nostra offerta comprende strumenti per la misurazione di umidità, punto di rugiada, temperatura, pressione e concentrazioni di sostanze chimiche umide. Ogni prodotto produce dati precisi sull'ambiente di produzione e garantisce una precisione superiore, stabilità a lungo termine e tempi di risposta rapidi per l'ottimizzazione dei processi, una maggiore resa, sicurezza e chip dalle prestazioni più elevate.
Per questi motivi, Vaisala è il partner di misurazione preferito dai produttori di semiconduttori e dalle fonderie MEMS, dai produttori di apparecchiature per semiconduttori e OEM, dagli operatori di fabbrica e dai fornitori di materiali.
Dal front-end al back-end, fino al cliente: ci pensiamo noi.
Anche i livelli di umidità possono influire sul processo di produzione dei semiconduttori. Un'umidità eccessiva può causare condensa su apparecchiature sensibili, causando potenzialmente difetti nei dispositivi semiconduttori. I sistemi di condizionamento di precisione aiutano a controllare i livelli di umidità e fungono da strumento preventivo.
La pulizia del wafer è un processo fondamentale nella produzione di semiconduttori, volto a rimuovere contaminanti, particelle e residui dalla superficie dei wafer di silicio. Questo processo garantisce l'affidabilità e la funzionalità dei circuiti integrati (CI) e di altri dispositivi semiconduttori.
I detergenti possono contenere acidi, vari solventi e acqua; potrebbero essere presenti residui che richiedono una maggiore resistenza delle sonde di misurazione.
Vaisala offre sonde resistenti alla corrosione anche senza parti metalliche a contatto con il fluido, appositamente studiate per il processo di pulizia dei wafer, in grado di tollerare sia un'elevata umidità sia sostanze chimiche aggressive.
Dopo la pulizia è importante assicurarsi che i trucioli siano asciutti per evitare contaminazioni e l'adesione delle particelle.
La lavorazione dei wafer nella fotolitografia è un'altra fase di lavorazione fondamentale nella produzione di circuiti integrati (CI) e altri dispositivi semiconduttori. In questa fase, un modello luminoso viene proiettato su un wafer di silicio rivestito con materiale fotosensibile (fotoresistente), incidendo così sul wafer il modello desiderato. Di conseguenza, alcune aree di fotolitografia possono avere tolleranze di umidità pari a ±1%.
Le sonde di misurazione della qualità nei fotoripetitori garantiscono misurazioni stabili della temperatura e proteggono i wafer dalle variazioni nelle dimensioni dei modelli indotte dalle fluttuazioni di temperatura. Dimensioni errate sui modelli di wafer influiscono negativamente sulla qualità complessiva e sulle prestazioni dei dispositivi semiconduttori.
Il fotoripetitore dei wafer si affida a ottiche precise per proiettare e trasferire i modelli sul wafer. Eventuali variazioni di temperatura o di altre condizioni ambientali possono influire sulla stabilità e sulla precisione di queste ottiche.
La misurazione della pressione barometrica è essenziale per la precisione ottica e l'accuratezza del processo litografico, poiché la pressione barometrica influenza direttamente l'indice di rifrazione dell'aria, che a sua volta influenza l'ottica del fotoripetitore dei wafer e la lunghezza d'onda della luce litografica.
Evita immagini sfocate misurando e controllando la pressione barometrica con strumenti di misurazione rapidi e precisi.
Le macchine di misura dei wafer identificano i wafer difettosi testando i chip. I test vengono eseguiti a basse temperature, fino a -40 gradi Celsius (-40 gradi Fahrenheit), per garantire che il chip funzioni a temperature estreme, ad esempio se in seguito dovesse essere utilizzato in un veicolo.
L'ambiente di prova deve essere mantenuto asciutto, con una temperatura del punto di rugiada inferiore a -40, in modo che non si formi ghiaccio sul chip, che in seguito, una volta portato a temperatura ambiente, si trasformerebbe in acqua e accumulerebbe impurità sul chip.
Vaisala offre sonde precise per il punto di rugiada per le macchine di misura dei chip.
Proteggere i costosi gas di processo dalla contaminazione causata dall'umidità. La qualità del gas influisce notevolmente sulla qualità del chip, poiché anche tracce di impurità possono causare difetti o guasti. L'umidità può reagire con determinati materiali o provocare difetti durante processi come l'ossidazione.
Una sonda a reazione rapida rileverà rapidamente l'umidità e avviserà quando verrà raggiunto il limite impostato.
Grazie alle nostre sonde sensibili, puoi mantenere facilmente la pressione differenziale della camera bianca secondo gli standard ISO 14644. Con il sistema modulare Indigo di Vaisala, puoi collegare le sonde di misurazione della pressione differenziale e dell'umidità allo stesso trasmettitore Indigo.
Scopri le nostre sonde di pressione differenziale PDT101 e PDT102.
Gli impianti per la produzione di wafer semiconduttori consumano tonnellate di sostanze chimiche durante l'intero processo produttivo. Garantisci l'affidabilità di ogni prodotto chimico ed evita deviazioni dalle specifiche che possono causare costose contaminazioni delle apparecchiature e scarti di wafer.
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