Come comprendere e utilizzare i dati in tempo reale nel processo CMP

Ottimizza i processi per ottenere qualità e resa massime dei wafer 

Misurazioni precise e rapide dell'indice di rifrazione e dell'umidità relativa per prestazioni ottimizzate dello strumento CMP  

Sapevi che la misurazione dell'indice di rifrazione o RI con un rifrattometro di processo  in linea è un metodo di monitoraggio del processo sicuro, conveniente,
in tempo reale e a bassa manutenzione per determinare con precisione le concentrazioni di sostanze chimiche umide? 

I rifrattometri di processo in linea di Vaisala soddisfano gli standard del settore e possono essere  comodamente integrati nei liquami
Miscelatori e strumenti CMP. 

Le misurazioni dell'umidità relativa (RH) nella  miscelazione dei liquami sono fondamentali per evitarne  l'evaporazione e l'eventuale agglomerazione. I prodotti consigliati sono Indigo520 con HMP7 e TMP1 sia per la misurazione della temperatura
che dell'umidità relativa direttamente nello  strumento CMP. 

In questo eBook vengono trattati i seguenti argomenti: 

  • Indice di rifrazione (RI) nell'ottimizzazione dei processi 
  • Umidità relativa (RH) come unità di misura critica 
  • Vantaggi della posizione di installazione

Scarica l'eBook compilando il modulo.

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