Come comprendere e utilizzare i dati in tempo reale nel processo CMP
Ottimizza i processi per ottenere qualità e resa massime dei wafer
Misurazioni precise e rapide dell'indice di rifrazione e dell'umidità relativa per prestazioni ottimizzate dello strumento CMP
Sapevi che la misurazione dell'indice di rifrazione o RI con un rifrattometro di processo in linea è un metodo di monitoraggio del processo sicuro, conveniente,
in tempo reale e a bassa manutenzione per determinare con precisione le concentrazioni di sostanze chimiche umide?
I rifrattometri di processo in linea di Vaisala soddisfano gli standard del settore e possono essere comodamente integrati nei liquami
Miscelatori e strumenti CMP.
Le misurazioni dell'umidità relativa (RH) nella miscelazione dei liquami sono fondamentali per evitarne l'evaporazione e l'eventuale agglomerazione. I prodotti consigliati sono Indigo520 con HMP7 e TMP1 sia per la misurazione della temperatura
che dell'umidità relativa direttamente nello strumento CMP.
In questo eBook vengono trattati i seguenti argomenti:
- Indice di rifrazione (RI) nell'ottimizzazione dei processi
- Umidità relativa (RH) come unità di misura critica
- Vantaggi della posizione di installazione
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