CMPプロセスにおけるリアルタイムデータの把握と活用

CMPツールの性能を最適化する正確で迅速なRI・RH計測

インラインプロセス屈折計による屈折率（RI）計測が、ウェットケミカル濃度の高精度計測において、安全で費用対効果が高い、
リアルタイム、低メンテナンスのプロセスモニタリング方法であることはご存じでしたか。

ヴァイサラのインラインプロセス屈折計は業界標準を満たし、スラリーや
ブレンダー、CMPツールと容易に統合できます。

スラリーブレンドにおける相対湿度（RH）の計測は、スラリーの蒸発と最終的な凝集を防ぐうえできわめて重要です。こうした用途においてヴァイサラが推奨する製品が、HMP7とTMP1を組み合わせたIndigo520です。
温度と相対湿度の両方をCMPツールで直接計測できます。

このeBookでは、次のことについて説明しています。

• プロセス最適化におけるRI
• 重要な計測値であるRH
• 設置場所の利点

フォームに記入してeBookをダウンロードしてください。

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