半導体製造プロセス、設備の監視 および管理のためのソリューション お問い合わせ先 半導体ウエハーおよびマイクロエレクトロニクス製造プロセスは、わずかなミスも許されない厳しいプロセスです。業界では、化学組成および大気条件を正確に監視、計測できる高品質な計装が強く求められています。ヴァイサラは、バルクケミカルおよびスラリーの供給、塗布、および使用点での混合、添加、研磨に関わるプロセスのインライン濃度モニタリング用の半導体製造プロセス向け屈折計を提供するとともに、半導体装置および半導体設備の内部および周囲の湿度、露点、温度、圧力の計測機器も提供しています。 アプリケーション ウェットケミカルをリアルタイムで監視 半導体ウエハーの製造工場は、製造プロセス全体を通して大量の化学物質を消費します。仕様からわずかに逸脱するだけで、高価な装置の汚染とウエハーの廃棄につながるおそれがあるため、各化学溶液の信頼性は製造工場にとって一番の懸念材料です。 製造工場での化学プロセスのモニタリングとは フォトリソグラフィーに おけるウエハーの質 半導体製造における集積回路パターンの質は、ステッパーの状態により左右されます。気圧、温度、湿度を正確に計測することで、精密空調装置とウエハーステッパーのプロセス能力を向上させます。 関連製品を探す（PDF） 圧縮空気および 窒素のプロセスライン 圧縮空気や窒素のプロセスラインを使用する場合、露点計測をすることで過度な空気乾燥と機器の腐食を避けられ、リソースを節約できます。ヴァイサラのDRYCAP®技術により、正確かつメンテナンスの必要性が低い、迅速な応答性が実現します。 関連製品を探す 設備管理 換気が不十分だと従業員の健康が損なわれるだけでなく、生産性が 18% も低下します。信頼性と耐久性を備え、追跡可能なHVACセンサの利用により、湿度、CO2 、温度を正確に計測することで、高いエネルギー効率と従業員の健康向上を同時に実現できます。 関連製品を探す ヴァイサラが選ばれる理由 ヴァイサラは半導体産業に深く精通しており、お客様の信頼できるパートナーとして貢献しています。 化学物質やプロセス品質のモニタリングから外気モニタリングまで、さまざまな重要な半導体プロセス向けの製品の設計、 製造を通じて、半導体事業を徹底的に熟知しています。自社のクリーンルームでプロセスの解析が行われ、 ヴァイサラ製品や研究開発用に高品質のマイクロチップを製造しています。 ヴァイサラはプロダクトライフサイクル全体を通した製品サポートに取り組んでおり、 優れたサービスとサポートをお近くの地域で提供しています。 お問い合わせ先 詳細 Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more ブログ 高品質な半導体製品を作るには、優れた監視装置で強化された高品質の装置が必要 これらによって、半導体製造に使用される装置のメーカーは正確に計測を行うことができます。 続きを読む ブログ 水は半導体製造における最も重大な汚染物質の1つ – 水分、湿度、温度の正確な計測 製品の品質と生産量における問題を回避するために、半導体製造では水分と温度のレベルを非常に注意深く監視する必要があります。 続きを読む Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch
