Soluciones para procesos de semiconductores, monitoreo y control de instalaciones Contáctenos La fabricación de obleas de semiconductores y la fabricación de microelectrónica es un proceso exigente con poco espacio para errores. La industria depende de la instrumentación de monitoreo y la medición de alto rendimiento para composiciones químicas precisas y condiciones atmosféricas. Ofrecemos refractómetros de proceso de semiconductores para el monitoreo de concentración en línea en la dispensación de entrega de productos químicosa granel, y procesos de mezcla, adición y pulido en el punto de uso; así como instrumentos para medir la humedad, el punto de rocío, la temperatura y la presión dentro y alrededor de las herramientas y las instalaciones de los semiconductores. Aplicaciones Química húmeda en tiempo real Las plantas de obleas de semiconductores consumen toneladas de productos químicos durante todo el proceso de fabricación. La confiabilidad de cada solución química es la principal preocupación de los fabricantes, ya que incluso la más mínima desviación de la especificación puede producir la contaminación del equipo y desperdicios en las obleas. Monitoreo de los procesos químicos de la fabricación Calidad de la oblea en fotolitografía La calidad del patrón de circuito integrado en la fabricación de semiconductores depende de las condiciones paso a paso. Mejore la precisión del aire acondicionado y la capacidad del proceso paso a paso de obleas con una medición precisa de la presión del aire, la temperatura y la humedad. BUSCAR PRODUCTOS RELACIONADOS (PDF) Líneas de proceso de aire comprimido y N2 Si está utilizando líneas de proceso de aire comprimido o nitrógeno, la medición del punto de rocío lo ayudará a ahorrar recursos al evitar el secado excesivo del aire y la corrosión del equipo. La tecnología DRYCAP de Vaisala permite un tiempo de respuesta rápido con precisión y bajas necesidades de mantenimiento. BUSCAR PRODUCTOS RELACIONADOS Control de las instalaciones La ventilación insuficiente disminuye no solo el bienestar de los empleados sino también la productividad de manera sustancial, hasta un 18 %. Con mediciones precisas de humedad, CO2 y temperatura que utiliza sensores HVAC confiables, duraderos y rastreables, se puede lograr simultáneamente la eficiencia energética y el bienestar de los empleados. BUSCAR PRODUCTOS RELACIONADOS Por qué Vaisala Vaisala es una gran experta en la industria de los semiconductores y un socio confiable para nuestros clientes. Tenemos una comprensión profunda y completa del negocio al diseñar y fabricar productos para diferentes procesos críticos de semiconductores, desde productos químicos y de monitoreo de calidad de procesos hasta monitoreo de aire ambiental. Nuestra comprensión del proceso se completa con nuestra propia sala limpia interna y la fabricación de microchips de alta calidad para los productos Vaisala y para otros fines. Vaisala se compromete a respaldar los productos durante todo el ciclo de vida, y se ofrecen servicios y soporte superiores a nivel local cerca de usted. Contáctenos Más información Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more Blog Los productos semiconductores de calidad necesitan maquinaria de calidad mejorada con los mejores equipos de monitoreo En este blog, analizamos la gama de sensores de humedad y presión de Vaisala que garantizan mediciones precisas para los fabricantes de las máquinas utilizadas para producir semiconductores. Leer más Blog Water is one of the most significant contaminants in semiconductor manufacturing – measure your moisture, humidity and temperature accurately To avoid issues with product quality and yield, moisture and temperature levels must be monitored extremely carefully in semiconductor manufacturing fabrications. Learn more Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch
