Solutions pour les processus dans l'industrie des semi-conducteurs et pour le contrôle et la surveillance des installations

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La fabrication des plaquettes de semi-conducteurs et des composants microélectroniques est un processus exigeant avec peu de marge d'erreur. L'industrie a besoin d'instruments de surveillance et de mesure ultra-performants pour assurer l'exactitude des compositions chimiques et des conditions atmosphériques. 

Vaisala propose des mesures approuvées et fiables aux fabricants de semi-conducteurs

Vaisala propose des mesures approuvées et fiables aux fabricants de semi-conducteurs et aux fonderies MEMS, aux vendeurs de matériel composé de semi-conducteurs, aux sociétés exploitantes et aux fournisseurs de matériaux. 
Les réfractomètres de procédés de semi-conducteurs sont conçus pour la surveillance en ligne de la concentration associée à l'administration des volumes de produits chimiques et de barbotine, au mélange au point d'utilisation, mais aussi pour le procédé par ajout connu et les processus de polissage. 
Les instruments précis Vaisala pour la mesure de la pression de l'air, de la température et de l'humidité fournissent des données exactes sur l'environnement de fabrication et offrent un haut niveau d'exactitude, une stabilité à long terme et un temps de réponse rapide.

 

Applications

Chimie humide en temps réel

Les usines de plaquettes pour semi-conducteurs consomment des tonnes de produits chimiques, à tous les stades de production. La fiabilité de chaque solution de produits chimiques est le souci numéro un des fabricants de semi-conducteurs, un écart infime des spécifications entraînant la contamination de l'équipement et la nécessité d'éliminer les plaquettes, des pertes onéreuses. 

EN SAVOIR PLUS SUR LA SURVEILLANCE DU PROCESSUS DE FABRICATION CHIMIQUE

Qualité des plaquettes en photolithographie

La qualité des modèles de circuits intégrés, inhérente à la fabrication des semi-conducteurs, dépend de l'état des projecteurs pas-à-pas. La précision de la climatisation et les performances des projecteurs pas-à-pas ont besoin de mesures précises de la pression de l'air, de la température et de l'humidité.

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Air comprimé et N2 dans les lignes de production

Si vous utilisez des lignes de production avec un apport d'air comprimé ou d'azote, la mesure du point de rosée vous aidera à économiser les ressources en évitant le séchage excessif de l'air et la formation de corrosion sur l'équipement. La technologie DRYCAP de Vaisala assure un temps de réponse rapide, associé à une exactitude et une faible maintenance.

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Contrôle de l'installation

Une ventilation insuffisante réduit non seulement le bien-être mais aussi la productivité des employés, et ce de 18 %. Grâce à une mesure exacte de l'humidité, du CO2 et de la température avec des capteurs CVC fiables, durables et traçables, il est possible d'augmenter simultanément le bien-être des employés et le rendement énergétique.

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Pourquoi choisir Vaisala ?

Vaisala, partenaire de confiance, dispose d'une grande expertise dans l'industrie des semi-conducteurs.
La conception et la fabrication de nos produits reposent sur une bonne compréhension du secteur,
des différents processus de fabrication critiques des semi-conducteurs, de l'assurance qualité des produits chimiques et des processus à la surveillance de l'air ambiant.

Notre compréhension des processus est complétée par notre propre salle blanche interne et la fabrication de micropuces de haute qualité.
aux produits Vaisala et pour le développement et la recherche.

Vaisala s'engage à prendre en charge les produits tout au long de leur cycle de vie,
et des services et une assistance de qualité supérieure sont offerts au niveau local, près de chez vous.  

Plus d'informations

Témoignage client

Pourquoi Vaisala est un fournisseur privilégié pour de nombreuses usines de fabrication de semi-conducteurs pour qualifier la concentration de H2O2 dans le CMP en tungstène

La mesure IR est une technique simple, économique et précise qui fournit des informations en temps réel sur la composition de la barbotine, faisant du réfractomètre un instrument de métrologie parfait pour de nombreuses usines de fabrication.

En savoir plus

Blog

Les semi-conducteurs haut de gamme nécessitent des machines de qualité, avec en plus un excellent matériel de surveillance

Dans ce blog, nous jetons un œil sur la gamme de capteurs d'humidité et de pression Vaisala qui garantissent des mesures exactes aux fabricants des machines utilisées pour la production de semi-conducteurs.
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Blog

L'eau est l'un des contaminants les plus importants dans la fabrication de semi-conducteurs ; mesurez avec précision votre humidité et votre température

Pour éviter les problèmes de qualité et de rendement de produit, les niveaux d'humidité et de température doivent être surveillés de très près dans le cadre de la fabrication des semi-conducteurs.

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Webinaire

Optimisez la qualité des plaquettes et le rendement avec des données en temps réel pendant le processus CMP

Inscrivez-vous à ce webinaire et découvrez pourquoi les réfractomètres de procédé Vaisala ont été installés par des centaines de fabricants de semi-conducteurs dans le monde. Nous examinerons la technologie derrière nos solutions de mesure et parlerons des applications courantes avant de nous consacrer à des exemples pratiques des fabricants.

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Webinaire

Assurez votre rendement dans la fabrication de semi-conducteurs et de batteries

Rejoignez ce webinaire à la demande et découvrez différentes techniques pour obtenir des mesures exactes et de qualité élevée, des solutions pratiques pour maintenir des conditions de fabrication optimales en salle blanche et en salle sèche, et choisir le bon produit pour votre application.

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