Ratkaisut puolijohdeteollisuuden märkäprosesseihin sekä laitosten valvontaan ja hallintaan OTA YHTEYTTÄ Puolijohdekiekkojen ja mikroelektroniikan valmistus on haastava prosessi, jossa ei ole tilaa virheille. Ala on riippuvainen erittäin suorituskykyisistä valvonta- ja mittalaitteista, joiden avulla kemialliset koostumukset ja ympäristöolosuhteet voidaan pitää tarkasti määritysten mukaisina. Vaisala tarjoaa luotettavia ja tarkkoja mittauksia puolijohdeteollisuuden Vaisala tarjoaa luotettavia ja tarkkoja mittauksia puolijohteiden ja mikrosysteemien (MEMS) valmistajille sekä puolijohdelaitteiden ja materiaalien toimittajille. Puolijohdeprosessirefraktometrit on suunniteltu inline pitoisuuden valvontaan bulkkikemikaalien ja slurryn annostelu-, sekoitus- ja kiillotusprosesseissa. Vaisalan tarkat ilmanpaineen, lämpötilan ja kosteuden mittalaitteet antavat erittäin tarkkoja tietoja valmistusympäristöstä. Ne ovat vakaita myös pitkällä aikavälillä, ja niillä on hyvin lyhyet vasteajat. Sovellukset Puolijohdeteollisuuden märkäprosessit Puolijohdekiekkojen valmistuslaitoksessa kuluu prosessin aikana tonneittain kemikaaleja. Kemikaaliliuosten luotettavuus on valmistajalle ensiarvoisen tärkeää, sillä pienikin poikkeama määrityksistä voi johtaa kalliiden laitteiden kontaminaatioon ja kiekkohävikkiin. LUE LISÄÄ PIIKIEKKOJEN VALMISTUSKEMIKAALIEN PROSESSIVALVONNASTA Veden laatu optisessa litografiassa Integroidun piirikuvion laatu puolijohteiden valmistuksessa on riippuvainen litografialaitteen olosuhteista. Ilmastoinnin tarkkuutta ja litografiaprosessin kapasiteettia voidaan parantaa tarkalla ilmanpaineen, lämpötilan ja kosteuden mittauksella. LÖYDÄ AIHEESEEN LIITTYVIÄ TUOTTEITA (PDF) Paineilma ja N2-prosessilinjat Jos käytät paineilma- tai typpiprosessilinjoja, voit kastepistemittauksen avulla säästää resursseja välttämällä ilman liiallisen kuivauksen ja laitteiston ruostumisen. Vaisalan DRYCAP-teknologia mahdollistaa tarkat mittaukset, lyhyen vasteajan ja vähäiset huoltotarpeet. LÖYDÄ AIHEESEEN LIITTYVIÄ TUOTTEITA Laitoksen valvonta Puutteellinen ilmanvaihto heikentää paitsi työntekijöiden hyvinvointia myös heidän tuottavuuttaan merkittävästi, jopa 18 prosenttia. Luotettavilla, kestävillä ja jäljitettävällä ilmanvaihtoantureilla tehtävällä tarkalla kosteuden, hiilidioksidin ja lämpötilan mittauksella voidaan parantaa sekä energiatehokkuutta että työntekijöiden hyvinvointia. LÖYDÄ AIHEESEEN LIITTYVIÄ TUOTTEITA Miksi Vaisala? Vaisala tuntee puolijohdealan hyvin ja on asiakkailleen luotettu kumppani. Hyödynnämme laaja-alaista alan osaamistamme suunnitellessamme ja valmistaessamme tuotteita erilaisten kriittisten puolijohdeprosessien tarpeisiin kemikaalien ja prosessin laadun valvonnasta ympäröivän ilman seurantaan. Puolijohdealan osaamisesta kertoo sekin, että valmistamme omassa puhdashuoneessamme laadukkaita mikrosiruja. Vaisalan tuotteiden ja tuotekehitystyön tarpeisiin. Vaisala on sitoutunut tukemaan tuotteitaan koko niiden elinkaaren ajan ja tarjoamme ensiluokkaista palvelua ja tukea paikallisesti lähelläsi. OTA YHTEYTTÄ Lisätietoja Asiakastarina Miksi Vaisala on monien puolijohdevalmistajien suosima toimittaja, kun kyseessä on volframin CMP:n vetyperoksidipitoisuuden selvittäminen Taitekerroinmittaus on yksinkertainen, kustannustehokas ja tarkka tekniikka, joka tarjoaa reaaliaikaiset tiedot lietemäisen seoksen koostumuksesta. Siksi refraktometri on ensisijainen valinta metrologiseksi mittalaitteeksi monille valmistuslaitoksille. Lisätietoja Blogi Laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistus edellyttää laadukkaita valmistusposesseja ja niiden monitorointia Tässä blogikirjoituksessa tarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien tahojen mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistamista Vaisalan kosteus- ja paineantureilla. Lue lisää Blogi Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. Lue lisää Webinaari Piikiekkojen laadun ja saannon optimointi reaaliaikaisilla tiedoilla CMP-prosessin aikana Ilmoittaudu tähän englanninkieliseen webinaariin ja näe, miksi sadat puolijohdevalmistajat eri puolilla maailmaa ovat asentaneet Vaisalan prosessirefraktometrejä prosesseihinsa. Esittelemme mittausratkaisujemme taustalla olevaa teknologiaa ja yleisiä käyttökohteita, minkä jälkeen käymme läpi joitakin tosielämän käyttötapauksia. Katso webinaari Webinaari Varmista saanto puolijohteiden ja akkujen valmistuksessa Tässä englanninkielisessä webinaarissa opit tekniikoita, joilla voit varmistaa parhaan mittaustarkkuuden ja ‑laadun. Lisäksi kuulet käytännön ratkaisuja optimaalisten valmistusolosuhteiden ylläpitämiseen puhdas- ja kuivatiloissa sekä vinkkejä juuri käyttökohteeseesi sopivan tuotteen valintaan. Katso webinaari
