Soluções para processos de semicondutores, monitoramento e controle de instalações Fale conosco A fabricação de obreias semicondutoras e microeletrônicas é um processo exigente e sem espaço para erros. O setor depende de instrumentação de medição e monitoramento de alto desempenho para obter composições químicas e condições atmosféricas precisas. Oferecemos refratômetros de processos de semicondutores para monitoramento da concentração em linha em distribuição de produtos químicos à granel e entrega de a suspensão, e processos de mistura, contaminação e polimento no ponto de uso; além disso, oferecemos instrumentos para medição de umidade, ponto de orvalho, temperatura e pressão dentro e ao redor das ferramentas semicondutoras e das instalações. Aplicações Química úmida em tempo real As fábricas de obreias semicondutoras consomem toneladas de produtos químicos em todo o processo de fabricação. A confiabilidade de cada solução química é a principal preocupação dos fabricantes, pois até mesmo um pequeno desvio da especificação pode resultar em contaminação de alto custo do equipamento e sucateamento da obreia. MONITORAMENTO DO PROCESSO QUÍMICO DE FABRICAÇÃO Qualidade da pastilha em fotolitografia A qualidade do padrão de circuito integrado na fabricação de semicondutores depende das condições de passo. Aumente a capacidade do ar-condicionado de precisão e do processo passo a passo com medição de pressão atmosférica, temperatura e umidade. ENCONTRE PRODUTOS RELACIONADOS (PDF) Linhas de processos de ar comprimido e N2 Se você estiver usando linhas de processos de ar comprimido ou nitrogênio, a medição do ponto de orvalho ajudará a economizar recursos ao evitar secagem excessiva de ar e corrosão do equipamento. A tecnologia DRYCAP da Vaisala permite um tempo de resposta rápido com precisão e pouca necessidade de manutenção. ENCONTRE PRODUTOS RELACIONADOS Controle de instalações A ventilação insuficiente diminui substancialmente não apenas o bem-estar do funcionário, como também a produtividade, podendo chegar a 18%. Com a medição precisa de umidade, CO2 e temperatura usando sensores HVAC confiáveis, duradouros e rastreáveis, tanto a eficiência energética como o bem-estar dos funcionários podem ser alcançados simultaneamente. ENCONTRE PRODUTOS RELACIONADOS Por que a Vaisala? A Vaisala é uma profunda conhecedora da indústria de semicondutores e uma parceira confiável de nossos clientes. Temos uma compreensão completa e abrangente dos negócios, projetando e fabricando produtos para diferentes processos críticos de semicondutores, desde o monitoramento da qualidade de produtos químicos processos até o monitoramento do ar ambiente. Nossa compreensão do processo é complementada por nossa própria sala estéril e fabricação de microchips de alta qualidade para produtos Vaisala e para propósitos de pesquisa e desenvolvimento. A Vaisala tem o compromisso de prestar suporte aos produtos durante toda sua vida útil, além de oferecer serviços superiores e suporte próximo a você. FALE CONOSCO Mais informações Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more Blog Produtos semicondutores de qualidade precisam de maquinário de qualidade aprimorado com os melhores equipamentos de monitoramento Neste blog, analisamos a linha de sensores de umidade e pressão da Vaisala que garantem medições precisas para fabricantes de máquinas usadas para produzir semicondutores. Leia mais Blog Water is one of the most significant contaminants in semiconductor manufacturing – measure your moisture, humidity and temperature accurately To avoid issues with product quality and yield, moisture and temperature levels must be monitored extremely carefully in semiconductor manufacturing fabrications. Learn more Webinar Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators. Register to watch Webinar Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application. Register to watch
