Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala para procesos químicos líquidos semiconductores Un refractómetro compacto con un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro para procesos químicos líquidos semiconductores. Conectado al proceso por un pilar de ¼ - 1 pulgada o un accesorio acampanado. El Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala monitorea la concentración de los productos químicos de la fabricación en ambientes de salas limpias y en las herramientas de proceso integradas (mezcla, limpieza, grabado y CMP). Contáctenos EXPLORA TODAS LAS APLICACIONES FOLLETO El modelo PR-33-S consiste en un cuerpo de celda de flujo de PTFE modificado ultrapuro y un cable Ethernet que cualquier interruptor estándar PoE (Power-over-Ethernet: Alimentación a través de Ethernet) puede utilizar para transmitir energía al sensor y los datos a una computadora. El modelo PR-33-S monitorea las concentraciones químicas en tiempo real y proporciona una señal de salida de Ethernet y retroalimentación inmediata, si la química está fuera de las especificaciones. Por ejemplo, las alarmas de baja y alta concentración pueden configurarse para controlar y aumentar la vida útil del baño. La concentración se determina al realizar una medición óptica del índice de refracción nD de la solución y la temperatura. El PR-33-S se monta directamente en línea con un pilar o accesorio acampanado. El PR-33-S tiene una construcción compacta y libre de metales y solo necesita una superficie pequeña. Elementos clave: Calibración con trazabilidad N.I.S.T., verificación con líquidos R.I. estándar y un método validado. Óptica CORE patentada (Patente de EE. UU. Nº US6067151). Panel remoto mediante Ethernet para registro de datos y funcionamiento remoto. La comunicación se crea en base a los protocolos UDP/IP estándar. Rango de temperatura de proceso: -20 °C – 85 °C (-4 °F – 185 °F). Medición rápida de la temperatura de proceso mediante Pt1000 incorporado y compensación digital automática de temperatura. Beneficios clave Dispositivo completamente digital Refractómetro Semicon K−PATENTS® PR-33-S de Vaisala se utiliza para el monitoreo y control de procesos y proporciona una señal de salida Ethernet continua. El dispositivo, de diseño compacto, se monta directamente en línea. Mediciones precisas y estables en todo el intervalo Intervalo de medición completo del índice de refracción nD de 1,3200 – 1,5300, que corresponde a un 0 - 100 % en peso. Intervalo opcional nD 1,2600 – 1,4700 para HF fuerte. Precisión típica R.I.+ 0,0002, que típicamente corresponde a 0,1 % en peso, por ejemplo, para HCl en agua. La medición no está influenciada por partículas, burbujas, flujo turbulento o impurezas en el intervalo de PPM. Mantenimiento sencillo Diseño de elemento óptico patentado en el interior. Sin desviación. Sin recalibración. Sin ajustes mecánicos. Documentación de los productos Docs.vaisala.com Más descargas Historias de clientes Customer case Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants. Learn more
