Refratômetros semicondutores Vaisala K-PATENTS® PR-33-S
para processos químicos líquidos do semicondutor
Um refratômetro compacto com corpo de célula de fluxo PTFE modificado ultrapuro para processos químicos líquidos do semicondutor. Conectado ao processo por um pilar de ¼ — 1 polegada ou conexão expandida.
O refratômetro semicondutor Vaisala K-PATENTS® PR-33-S monitora a concentração de produtos químicos do fabricante em ambiente de sala limpa e nas ferramentas integradas do processo (mistura, limpeza, reação e CMP).
O PR-33-S consiste em um corpo de célula de fluxo PTFE modificado ultrapuro e um cabo Ethernet que qualquer switch PoE (Power-over-Ethernet) padrão pode usar para transmitir energia ao sensor e dados a um computador. O PR-33-S monitora as concentrações químicas em tempo real e fornece um sinal de saída Ethernet e feedback imediato se o produto químico estiver fora das especificações. Por exemplo, alarmes de baixa e alta concentração podem ser configurados de modo a controlar e aumentar a duração do banho. A concentração é determinada por uma medição óptica do Índice de Refração nD e da temperatura da solução.
O PR-33-S é montado diretamente em linha com uma conexão expandida ou de pilar. O PR-33-S tem uma estrutura compacta e isenta de metais e precisa apenas de uma pequena superfície de construção.
Elementos principais:
- calibração rastreável NIST, verificação com líquidos por IR padrão e procedimento validado.
- Módulo óptico CORE patenteado (Patente dos EUA nº US6067151).
- Painel remoto via Ethernet para registro de dados e operação remota.
- A comunicação é criada pelos protocolos UDP/IP padrão.
- Faixa de temperatura de processo: -20 °C – 85 °C (-4 °F – 185 °F).
- Medição rápida da temperatura de processo com Pt1000 integrada e compensação automática de temperatura digital.
