Vaisala K-PATENTS® 반도체 굴절계 PR-33-S
반도체 액체 화학 공정용
반도체 액체 화학 공정을 위한 초순수 수정된 PTFE 플로우 셀(Flow Cell) 본체를 갖춘 소형 굴절계. ¼ — 1인치 기둥 또는 플레어 피팅에 의해 공정에 연결됨.
Vaisala (바이살라) K-PATENTS® 반도체 굴절계 PR-33-S는 클린룸 환경과 통합 공정 도구(혼합, 세정, 에칭 및 CMP)에서 제조공장 화학물질의 농도를 모니터링합니다.
PR-33-S는 초순수 수정된 PTFE 플로우 셀(Flow Cell) 본체, 그리고 모든 표준 PoE(이더넷 전원 장치) 스위치가 센서에 전력을 공급하고 컴퓨터에 데이터를 전송하는 데 사용할 수 있는 이더넷 케이블로 구성되어 있습니다. PR-33-S는 화학물질의 농도를 실시간으로 모니터링하여 화학물질이 사양에서 벗어난 경우 이더넷 출력 신호와 즉각적인 피드백을 제공합니다. 예를 들어, 저농도 및 고농도 알람을 구성하여 세척조 수명을 제어하고 늘릴 수 있습니다. 농도는 용액의 굴절률 nD와 온도를 광학적으로 측정하여 확인됩니다.
PR-33-S는 플레어 또는 기둥 피팅과 직렬로 장착됩니다. PR-33-S는 크기가 작고 금속 성분이 없어서 차지하는 공간이 매우 작습니다.
주요 구성요소:
- N.I.S.T. 교정 소급성, 표준 굴절 시약과 검증된 절차를 통해 검증.
- 특허 받은 CORE-optics(미국 특허 번호 US6067151).
- 데이터 기록 및 원격 작동을 위한 이더넷 원격 패널.
- 통신은 표준 UDP/IP 프로토콜을 통해 구축됩니다.
- 공정 온도 범위: -20°C~85°C(-4°F~185°F).
- 내장된 Pt1000 및 자동 디지털 온도 보상을 통한 빠른 공정 온도 측정.
