维萨拉 BAROCAP® 压力传感器技术

维萨拉 BAROCAP® 于 1985 年首次推出，是一种硅基微型机械压力传感器，可在从气象到工业测量的广泛应用中提供可靠的性能。结合采用了两项技术——单晶硅材料和电容测量—— BAROCAP 传感器具有低滞后性、良好的准确度和长期稳定性。

工作原理

BAROCAP® 是一种微型机械传感器，它利用其硅膜的尺寸变化来测量压力。随着周围压力增加或降低，膜会弯曲，从而增大或减小传感器内部真空间隙的高度。真空间隙相对的两个面充当电极，随着两个电极之间距离的变化，传感器的电容也会发生变化。测量电容并将其转换为压力读数。BAROCAP® 传感器属性——该传感器的单晶硅材质带来了良好的特性：弹性好、滞后性低、重复性好、低温依赖性和长期稳定性。电容式结构使传感器具有较宽的动态范围，并为超压阻断提供了内置机制。

气压测量典型应用

气压测量在气象学中具有广泛的应用。估计大气中可降雨的水蒸气量时，需要用到气压数据。典型的应用包括气象站、数据浮标、GPS 气象学和环境数据记录。气压测量也用于水文学和土壤学应用。在多种工业应用中也需要气压数据。在对压力敏感的工业设备（如激光干涉仪和光刻系统）、航空应用以及在废气分析中需对气压进行测量。计量应用包括实验室压力标准测量和校准实验室中的环境监测。维萨拉提供一系列用于室内外的专业级气压计。BAROCAP® 气压计
在大跨度温度范围内适用，在高要求的应用环境下（如专业的气象和航空）也有可靠表现。

BAROCAP® 在受压环境系统中的测量应用

维萨拉 DRYCAP® 露点仪器具有悠久的历史，可在压缩空气系统中提供可靠、稳定的测量结果，并在高压设备中提供 SF6 隔离气体监测。除了需要进行露点测量外，这两项应用也需要进行精确而稳定的压力测量。维萨拉已将其 DRYCAP® 和 BAROCAP® 技术集成到一系列产品中，这些产品为加压系统提供压力和露点测量的组合。在压缩空气中，露点测量与实时工艺压力数据的组合实现了：可在线将测得的压力露点转换为大气压力或 ppm 单位，从而消除了露点数据中出现歧义的可能性。这一点很重要，因为受监测气体的压力变化会改变其露点。在高压设备的 SF6 气体监测中将露点和压力测量相结合，可为评估 SF6 隔离状况提供可靠的工具。可以立即检测到泄漏，并针对微量水分问题进行预警。通过测量露点、压力和温度，可以计算 SF6 气体密度、当前压力、大气压力下的露点和 ppm – 这是 SF6 监测中的基本要素。