ウエハー洗浄の化学界面検出

洗浄剤は製造工場で最も消費される液体であり、スタンダードクリーン 1（SC-1）、スタンダードクリーン 2（SC-2）、希釈フッ化水素酸（DHF）、そしてピラニア溶液などの混合物がウエハーから残留物を除去するために使用されます。タンクから洗浄ツールへの複数の薬液の供給と、ステップ間の脱イオン水（DIW）でのすすぎは、交差汚染を排除するために厳格に制御する必要があります。

ウエハー洗浄の化学界面検出

製造工場で、ヴァイサラ 半導体製造プロセス向け屈折率計を使用すると、次のような大きなメリットが得られます。

• 液体間の界面を継続的に監視し、タンクから洗浄ツールへの連続フローを実現
• 洗浄剤とDIWを瞬時に切り替え

ヴァイサラのアプリケーションノートでは、半導体製造プロセス向け屈折率計が推奨設置ポイントでどのようにプロセスを改善して、最高の性能を発揮できるかについて説明しています。

フォームを記入いただくと、アプリケーションノート（PDF）をダウンロードいただけます。

製造工場での化学プロセスの監視と異常検出におけるすべての用途を確認する

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