半导体洁净室的温湿度测量

半导体制造是一种非常精密的工艺，存在许多潜在的质量影响来源。其中一个是湿度。湿度过高会导致冷凝等问题，而过于干燥的环境则容易导致静电荷积聚，从而可能造成带有破坏性的静电放电。 

在这场在线研讨会中，我们的产品应用专家将介绍半导体洁净室中湿度测量的极端情况，并分享测量仪表安装的实际案例。

本次研讨会面向半导体制造商、半导体设备制造商和超纯气体制造商，欢迎您加入我们的干湿讨论并了解更多： 

• 半导体行业简介
• 洁净室湿度测量的极端情况
• 半导体洁净室中的暖通空调
• 测量及安装实例展示

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