Verstehen und Nutzen von Echtzeitdaten im CMP-Prozess Optimieren von Prozessen für höchste Waferqualität und optimalen Ertrag Genaue und schnelle Messungen von Brechungsindex und relativer Feuchte für optimierte CMP-Werkzeugleistung Wussten Sie, dass die Messung des Brechungsindex mit einem Inline-Refraktometer eine sichere und kostengünstige Echtzeit-Methode mit geringem Wartungsaufwand zur Prozessüberwachung ist, um die Konzentration von Nasschemikalien exakt zu bestimmen? Die Inline-Refraktometer von Vaisala erfüllen Industriestandards und können bequem in Schlammmischer und CMP-Werkzeuge integriert werden. Messungen der relativen Feuchte oder des Brechungsindex bei der Mischung von Schlämmen sind wichtig, um ihre Verdunstung und eventuelle Anhäufungen zu vermeiden. Empfohlene Produkte sind der Indigo520 mit HMP7 und TMP1 zur Messung von Temperatur und relativer Feuchte direkt im CMP-Werkzeug. In diesem E-Book besprechen wir Folgendes: Optimierung des Brechungsindex im Prozess Relative Feuchte als kritischer Messwert Vorteile der Installationsposition Füllen Sie das Formular aus, um das E-Book herunterzuladen. Zurück zu allen nass-chemischen Anwendungen. In unserer Datenschutzrichtlinie finden Sie weitere Informationen. Hier können Sie Ihre persönlichen Einstellungen jederzeit ändern oder sich abmelden.
Verstehen und Nutzen von Echtzeitdaten im CMP-Prozess Optimieren von Prozessen für höchste Waferqualität und optimalen Ertrag
Genaue und schnelle Messungen von Brechungsindex und relativer Feuchte für optimierte CMP-Werkzeugleistung Wussten Sie, dass die Messung des Brechungsindex mit einem Inline-Refraktometer eine sichere und kostengünstige Echtzeit-Methode mit geringem Wartungsaufwand zur Prozessüberwachung ist, um die Konzentration von Nasschemikalien exakt zu bestimmen? Die Inline-Refraktometer von Vaisala erfüllen Industriestandards und können bequem in Schlammmischer und CMP-Werkzeuge integriert werden. Messungen der relativen Feuchte oder des Brechungsindex bei der Mischung von Schlämmen sind wichtig, um ihre Verdunstung und eventuelle Anhäufungen zu vermeiden. Empfohlene Produkte sind der Indigo520 mit HMP7 und TMP1 zur Messung von Temperatur und relativer Feuchte direkt im CMP-Werkzeug. In diesem E-Book besprechen wir Folgendes: Optimierung des Brechungsindex im Prozess Relative Feuchte als kritischer Messwert Vorteile der Installationsposition Füllen Sie das Formular aus, um das E-Book herunterzuladen. Zurück zu allen nass-chemischen Anwendungen. In unserer Datenschutzrichtlinie finden Sie weitere Informationen. Hier können Sie Ihre persönlichen Einstellungen jederzeit ändern oder sich abmelden.
