Verstehen und Nutzen von Echtzeitdaten im CMP-Prozess

Genaue und schnelle Messungen von Brechungsindex und relativer Feuchte für optimierte CMP-Werkzeugleistung  

Wussten Sie, dass die Messung des Brechungsindex mit einem  Inline-Refraktometer eine sichere und kostengünstige
Echtzeit-Methode mit geringem Wartungsaufwand zur Prozessüberwachung ist, um die  Konzentration von Nasschemikalien exakt zu bestimmen? 

Die Inline-Refraktometer von Vaisala erfüllen Industriestandards und können  bequem in Schlammmischer
und CMP-Werkzeuge integriert werden. 

Messungen der relativen Feuchte oder des Brechungsindex bei der Mischung von Schlämmen sind wichtig, um  ihre Verdunstung und eventuelle Anhäufungen zu vermeiden. Empfohlene Produkte sind der Indigo520 mit HMP7 und TMP1 zur Messung von Temperatur
und relativer Feuchte direkt im  CMP-Werkzeug. 

In diesem E-Book besprechen wir  Folgendes:

• Optimierung des Brechungsindex im Prozess 
• Relative Feuchte als kritischer Messwert 
• Vorteile der Installationsposition

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