반도체 공정, 설비 모니터링 및 관리를 위한 솔루션
문의하기반도체 웨이퍼 및 마이크로 전자장치 제조는 실수가 용납되지 않는 까다로운 공정입니다. 이 산업은 화학 성분과 대기 조건을 정밀하게 측정하고 모니터링하는 고성능 기기의 사용이 매우 중요합니다. 당사는 대량 화학물질 및 슬러리 공급, 사용 지점 혼합, 스파이크 및 폴리싱 처리 시 인라인으로 농도를 모니터링하며, 반도체 장비와 설비 내부 및 주변의 습도, 이슬점, 온도 및 압력을 측정하는 반도체 공정 굴절계를 제공합니다.
애플리케이션
습식 화학 실시간
반도체 웨이퍼 공장의 전체 팹 공정에서는 엄청난 양의 화학물질이 사용됩니다. 각 화학 용액의 신뢰성이 팹에서 가장 중요합니다. 사양에서 약간만 벗어나도 고가의 장비가 오염되고 웨이퍼가 낭비될 수 있기 때문입니다.
포토리소그래피의 웨이퍼 품질
반도체 제조에서 집적 회로 패턴의 품질은 스테퍼 조건에 좌우됩니다. 정확한 공기 압력, 온도 및 습도 측정으로 정밀 공조 및 웨이퍼 스테퍼 공정의 역량을 강화합니다.
왜 Vaisala인가?
Vaisala는 반도체 산업 전문업체로서 고객이 신뢰할 수 있는 파트너입니다.
당사는 화학물질 및 공정 품질 모니터링에서 외기 모니터링까지 중요한 여러 반도체 공정에서 사용되는 제품을 설계하고 제조하고 있어 반도체 산업을 속속들이 잘 알고 있습니다.
당사는 자체 클린룸을 두고 있고 Vaisala 제품과 연구개발에 사용되는 고급 마이크로 칩을 제조하고 있어 공정을 완벽하게 파악하고 있습니다.
Vaisala는 전체 수명 주기에서 제품을 지원할 것이며, 현지 고객사 근처에서 우수한 서비스와 지원을 제공합니다.
추가 정보
Customer case
Why Vaisala is a preferred vendor for many semiconductor fabrication plants for qualifying H2O2 concentration in CMP of tungsten
RI measurement is a simple, cost-effective, and accurate technique that provides real-time information on slurry composition, making a refractometer the metrology instrument of choice for many fabrication plants.
Blog
Quality semiconductor products need quality machinery enhanced with the best monitoring equipment
In this blog, we look at Vaisala’s range of humidity and pressure sensors that ensure accurate measurements for manufacturers of the machines used to produce semiconductors.
Blog
Water is one of the most significant contaminants in semiconductor manufacturing – measure your moisture, humidity and temperature accurately
To avoid issues with product quality and yield, moisture and temperature levels must be monitored extremely carefully in semiconductor manufacturing fabrications.
Webinar
Optimize Wafer Quality and Yield with Real-time Data During the CMP Process
Register for this webinar to learn why Vaisala process refractometers have been installed by hundreds of semiconductor manufacturers worldwide. We’ll review the technology behind our measurement solutions and share common applications before sharing sample use cases from fabricators.
Webinar
Ensure your yield in semiconductor and battery manufacturing
Join this webinar and learn about different techniques for best measurement accuracy and quality, practical solutions for maintaining optimal manufacturing conditions in cleanroom and dry room conditions, and how to choose the right product for your application.