了解并在 CMP 工艺中利用实时数据

准确快速的折射率 RI 和相对湿度 RH 测量，进而提升 CMP 设备的性能  

您知道吗？使用原位在线折光仪测量折射率是一种安全、经济高效、 
实时且维护量低的工艺监测方法，可以准确地确定湿化学品的浓度。   

维萨拉的原位在线折光仪符合行业标准，可以方便地集成到混合 
机和 CMP 设备中。 

以混合浆料的方式测量相对湿度 (RH) 可以有效避免浆料蒸发或结块。  推荐产品：带有 HMP7 和 TMP1 的 Indigo520，适用于
直接在 CMP 设备中测量温度和相对湿度。  

这本电子书探讨了如下内容： 

• 工艺优化中的折射率 RI 
• 相对湿度 RH 作为关键测量值 
• 安装位置优点

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